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实验室 微小气体流量仪器仪表

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¥3000.00

1-2台

¥2800.00

≥3台

产品规格

规格: HLMFM06

15年

经营年限

江苏苏州

所在地区

8.1

综合评分

图文详情
产品属性

实验室 微小气体流量仪器仪表 

质量流量控制器传感器采用微机械加工技术,实现微小流量测量,其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿,广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。 

工作原理:

感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作,在芯片上,一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的特有工艺制作的镂空桥面上,采用这这样的桥式方式制作有利于热传导,使动态响应时间大大提高,当传感器工作时,微热源与环境温度之间保持一定的温差(通常是70℃),在芯片周围形成固定的温度场分布,如果气体是单向流动,则在气道中温度场可用下述公式来计算:

                           质量流量控制器 气体质量流量控制器mfc 流量调节器 可调节流量控制器 流量比例控制器示例图2

式中:气体流动方向为x,速度为v,a为扩散率。如上图(式)所示,当气体流过芯片时,将会带走热量,通过质量流量qm和电压V的对应关系来计算流体的质量流量。

产品特点:

·产品集成度高,集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体,并可实现自动调节、控制阀门

·微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术,使流量计的微流量测量灵敏度显著提升

·微小流量气体测量,ml/min级的微流量测控,实现微小流量测量的数字化

·单个芯片的 流量特性的微处理技术,使流量计的量程范围大大提高

·机电一体化优化设计,智能化的数据处理技术,使流量计具有更好的重复性,实现了计量的准确、可靠

·结构的优化,流量计的压力损失达到蕞小化

·采用国际蕞新的传感技术,使流量计工作更稳定、可靠

·零点自校功能,测量更准确

·多种气体实际标定,全量程补偿

·快速响应、数据自动存储,配合上位机可实现网络集中管理

·规格齐全,量程范围宽,可根据用户要求单独标定

·精度等级高,满足用户高精度测量要求

·独有的流量计报警功能,使监控更可靠

·操作、设置界面友好、简便,可根据需要自行设定相关参数

·运用行业多,是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的优选

技术参数:

·测量介质:各种气体(乙炔气和混合气体除外)

·测量管径:DN3,6,8,10,12

·流量范围:30,60,80,100,300,600,800,1000sccm;10,20,30,50,80,100,200,300,500SLPM             

·流量测量准确度:±1.5%FS

·工作温度范围:-25℃-55℃

·工作压力范围:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa

·供电电源:24VDC±10%;

·输出信号:4-20mA,RS485通讯

·环境温度:-25℃-55℃

·显示位数:瞬时流量为三位,累积流量10位。

外观尺寸

                质量流量控制器 气体质量流量控制器mfc 流量调节器 可调节流量控制器 流量比例控制器示例图3


L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2

安装现场图:

品牌 华陆
型号 HLMFM06
加工定制
类型 质量流量计
测量范围 30SCCM-500SLPM
精度等级 1.5%
公称通径 DN3-18
适用介质 微小气体
工作压力 1.0MPa
工作温度 -25-55°C
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实验室 微小气体流量仪器仪表

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HLMFM06

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