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气体质量流量控制器 型号:KM12-CS50 库号:M390287 其他

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北京海富达科技有限公司

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产品属性

气体质量流量控制器 型号:KM12-CS50

库号:M390287 

产品特点

安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合计算机使用。

流量规格(N2标定)

0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM

注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。

输入输出信号

0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)

流量规格1:(N2)产品特点

本产品具有稳定、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合计算机使用。

流量规格(N2标定)

0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM

注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。

输入输出信号

0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)

流量规格:0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM

调节阀类型:常闭型

量程比:2-100%FS或者50:1

流量分辨率:0.1%FS

准确度:1%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

线性:0.5%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

重复精度:0.2%FS

相应时间:小于2S

工作压差范围:0.1-0.5MPA 小于10SLM

0.1-0.3MPA 大于10SLM

大耐压:3MPA

工作环境:5-45度

电缆接头:DB15pin(针形)

输入输出信号:0-5V(输入抗阻大于100K欧 输出电流不大于3MA)

供电电源要求:+15VDC 80MA -15VDC 2000MA


型号 KM12-CS50
适用范围 0.1-0.5MPA 小于10SLM
大耐压 3MPA
重复精度 0.2%FS
产品名称 气体质量流量控制器
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