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高纯三乙基镓等金属有机化合物是金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)、化学束外延(CBE)中生长光电子材料重要的原料，并广泛应用于生长铟镓砷氮(InGaAsN)、铟镓砷(InGaAs)、铟镓磷(InGaP)等化合物半导体薄膜材料。
三乙基镓Triethylgallium
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