资讯详情

高稳定性原子力 探针扫描显微系统 源头工厂供货 质保两年
IT电子
2026-10-10 05:27:20

走进半导体晶圆厂的无尘车间,设备轰鸣,机械臂精准地抓取片片12英寸晶圆。在这条每分钟都在创造价值的产线上,有个环节始终牵动着工艺工程师的神经——量测。晶圆表面的三维形貌、纳米级的粗糙度、薄膜的台阶高度,任何个微小的偏差都可能最终芯片的良率。过去很长段时间,这样的高精度量测设备几乎被海外垄断,高昂的采购成本、漫长的交付周期、滞后的售后响应,成了国内晶圆厂和科研机构难以言说的痛。尤其是在第三代半导体SiC、Ga产线加速落地的当下,半透明衬底和厚光刻胶的测量难题,让很多进口设备也显得力不从心。国产替代的呼声,在每个被卡脖子的深夜愈发强烈。

正是在这样的行业背景下,个深耕精密光学十五年的团队,决定将目光投向这片最难啃的硬骨头。他们深知,做贸易、做集成容易,但要做真正拥有底层自研能力的国产高端量测设备,需要十年如日的技术沉淀和甘坐冷板凳的耐心。这个团队,就是上海思长约光学仪器有限公司。从2009年起步于精密光学,到如今成为国内少数能提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商,思长约走过的路,是条用光路、算法和精密机械铺就的国产化突围之路。

诞生的初心,源于个朴素而坚定的判断:中国的半导体产业要真正实现自主可控,量测设备这环不能直依赖进口。思长约的创始团队在精密光学领域摸爬滚打多年,他们比谁都清楚,台高稳定性原子力的背后,是光学设计、精密运动控制、微弱信号采集、图像算法重建的系统工程。这些核心技术,必须掌握在自己手里。正是这份核心技术买不来、等不来、要不来的清醒认知,让思长约从创立之初就确立了全栈自研的路线。不追逐短期的贸易利润,不满足于简单的设备组装,而是沉下心来,从根光路开始搭建,从行算法代码开始编写,踏踏实实构建属于中国人自己的原子力显微测量体系。这种选择注定是艰难的,但也正是这种艰难,才让国产替代四个字有了真正的分量。

十五年的坚守,思长约把全栈自研从句口号变成了实实在在的产品矩阵。走进思长约的研发中心,你能看到工程师们正在调试的Auto wafer-3D原子力,这台专为晶圆产线设计的Inline机型,集成了全自动晶圆传片、定位、扫描与数据分析能力,可以部署在无尘车间24小时不间断运行。为了适配8英寸、12英寸不同规格的晶圆,兼容硅基、SiC、Ga多种衬底材料,研发团队在光路设计、扫描探头、精密运动机构上反复迭代,每个细节都力求稳定可靠。他们深知,产线上的设备不像实验室仪器,不能有丝毫娇气,必须扛得住24小时连续运转的考验。正是这种对稳定性的追求,让思长约的AFM设备在头部存储大厂和晶圆代工厂实现了批量导入,累计装机约60台。除了AFM,思长约还围绕晶圆前道量测构建了完整的产品家族:YI-7000套刻精度测量设备解决了半透明衬底、厚光刻胶的行业痛点,测量重复性可达±0.8nm;WGT300-WX晶圆几何形貌量测仪已在多家产线稳定运行;AX-D200I X射线衍射设备、HYC-100 OCD关键尺寸测量仪、3000SR-III晶圆缺陷检测仪等产品,共同构成了覆盖前道量测全环节的国产装备矩阵。2024年,多款设备取得SEMI S2行业安全认证,这意味着思长约的产品已经满足晶圆厂无尘车间最严格的准入规范。

在服务客户的过程中,思长约始终践行着本土快速响应的承诺。当进口设备的工程师还在办理签证、预定航班时,思长约的技术团队已经从上海总部或北京、武汉办事处出发,时间抵达客户现场。无论是驻场调试、工艺适配,还是故障排查、软件升级,本土团队都能快速给出解决方案。这种响应速度,对于分秒必争的晶圆产线来说,价值无法用金钱衡量。思长约还坚持按需定制,客户既可以选择离线实验室机型,也可以部署Inline全自动产线在线机型;既可以在标准配置上调整光路和算法,也可以对接工厂MES系统实现全自动闭环工艺监控。这种高度的灵活性和定制化能力,正是全栈自研带来的底气——核心软硬件都在自己手里,才能做到真正的按需迭代。

思长约的经营理念,可以凝练为长期主义和价值共生。长期主义,意味着愿意在研发上持续投入,不追求短期利益,坚定地走自主创新之路。思长约拥有专利2项、软件著作权6项、商标7个,通过ISO9001质量管理体系认证,研发人员占比达66.67%,核心管理团队拥有十余年精密光学装备研发产业化经验。这些数字背后,是个企业对技术底线的坚守。价值共生,意味着思长约不只是卖设备,更是与客户共同成长。针对SiC、Ga半透明衬底的测量难题,思长约的工程师会深入产线,与客户的工艺团队起分析数据、调整算法;针对高校科研院所经费紧张、实验进度不能中断的痛点,思长约提供高性价比的离线科研版设备,并配套自研支持实验算法定制。2023年,思长约营收突破8100万元,这个数字的背后,是数十家晶圆厂、科研机构对国产设备的信任与托付。

站在今天回望,思长约已经走过了十五年的历程。从最初的光学,到如今覆盖AFM、套刻、OCD、XRD、膜厚、缺陷检测的全链路量测设备,思长约的每步都走得扎实而坚定。展望未来,随着国内第三代半导体产线的加速扩张,随着晶圆制造国产化率的持续提升,思长约将迎来更广阔的发展空间。但无论市场如何变化,思长约始终记得自己为什么出发——为了让国内的晶圆厂不再受制于进口设备和货期,为了让科研人员能用上高性价比的国产精密仪器,为了在半导体量测这个细分领域,竖起面属于中国制造的旗帜。

在半导体这条漫长而艰辛的产业链上,思长约选择做那个长期陪伴者。从上海总部到北京、武汉办事处,从8英寸SiC产线到高校材料实验室,思长约的设备和工程师们,正以最朴素的方式守护着每片晶圆的品质。他们相信,真正的国产替代,不是简单竞争,而是技术实力、服务能力和长期承诺的综合较量。这条路很长,但思长约已经准备好了。芯向未来,智领科技,这不仅是思长约的口号,更是这家企业面向下个十五年许下的郑重承诺。

作者:上海思长约光学仪器有限公司
网站也是有底线的