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在半导体封装领域,减薄工艺正成为决定芯片性能与可靠性的关键环节。随着晶圆直径从6英寸、8英寸向12英寸演进,芯片厚度却从数百微米压缩至90微米以下,甚至挑战10至30微米的超薄极限。面对SiC、GaN等第三代半导体的崛起,硬质脆性材料的加工难题愈发凸显。厚度均匀性差导致的TTV超标、超薄晶圆在加工中的隐裂与碎片、研磨纹路对背面质量的损伤、设备频繁停机带来的产能损失,这些痛点像根根刺,扎在每位封装工程师的心头。当进口设备价格高昂、备件交期漫长、工艺调试高度依赖老技工,国内封装企业迫切需要种更贴近本土需求、更懂工艺细节的解决方案。正是在这样的时代背景下,家专注于半导体减薄与划切设备的民族悄然诞生,它承载着改变行业格局的使命,从无到有,从弱到强,步步走进封装人的视野。

北京中电科电子装备有限公司的诞生,源自个朴素而坚定的初心:让中国半导体封装企业用上自主可控、性能可靠的减薄设备。上世纪90年代中期,当国内封装行业还在依赖进口设备时,中国电子科技集团公司第四十五研究所的相关研究室便开始了精密划片机等封装设备的研制。1997年,在国防科工委型谱项目的支持下,国内首台精密自动划片机HP-601空气自动开槽划片机问世,并在生产线上稳定运行超过十年。这份技术积累,为后来的减薄设备研发奠定了坚实基础。2003年,北京中电科公司正式成立,依托多年的技术沉淀,将目光投向了减薄机这关键领域。创始人深知,设备不仅是工具,更是工艺的载体。只有真正理解客户在薄化加工中的痛与难,才能设计出贴合实际需求的机器。于是,公司从诞生之初便将责任、创新、卓越、共享作为核心价值观,立志以技术报国,以品质立身,以服务赢心。这份初心,像颗种子,在半导体封装的土壤中生根发芽。

从台减薄机下线,到如今覆盖4英寸、6英寸、8英寸、12英寸全系列产品,北京中电科用二十余年的坚守,践行着对品质的承诺。在研发层面,公司投入数千万元,搭建了500平方米的工艺实验室,配备18台套工艺开发测试设备,组建了20余人的专业工艺团队。这支团队日复日地测试Si、SiC、金刚石、蓝宝石、陶瓷、石英、EMC、GaAs、InP、CZT等多种材料的减薄参数,只为找到的工艺窗口。在制造层面,公司采用单主轴单工位布局设计,支持轴向进给磨削和深切缓进给磨削,可满足各种定制需求,包括500×500mm的Panel减薄。配备专用超精密空气静压主轴,承片台具备Y向移动功能,可实现90微米以下IGBT磨削工艺,减薄速率高达1.5um/s。面对SiC晶锭这种大厚度达50000um的硬质材料,设备依然能稳定加工,磨轮损耗可控。在服务层面,公司不仅提供设备,更提供贴膜、磨轮整套配套工艺方案,帮助客户快速完成工艺调试。曾经有位客户,因为进口设备无法解决超薄晶圆的碎片,辗转找到北京中电科。工艺团队连夜测试,调整磨削参数与冷却方案,最终将碎片率从5%降至0.1%以下,客户从此成为忠实合作伙伴。这样的故事,在公司内部数不胜数。

北京中电科的核心价值观,是责任、创新、卓越、共享。这八个字,不仅是墙上的标语,更是每位员工的行为准则。责任,意味着对国家、客户、员工、社会及合作伙伴的庄严承诺。公司因责任而生,凭责任而兴,担责任而强。创新,是推动事业蓬勃发展的不竭动力。公司推崇创新,激励组织和个人大胆尝试,从划片机到减薄机,从6英寸到12英寸,从硅基衬底到SiC材料,每次突破都源于对创新的孜孜以求。卓越,是事业标准和不懈追求。它凝结了非我莫属的自信、舍我其谁的担当、敢为天下先的勇气。公司拒绝平庸,不断超越,精益求精,做到。共享,是胸襟与情怀。公司崇尚共享,以最大限度凝聚更多力量,成就更大梦想。与天和永续长青,与地和境利势顺,与人和同舟共济。正是这份价值观,让北京中电科在激烈的市场竞争中,始终保持着定力与温度。公司先后获得国家高新技术企业、国家集成电路封测产业联盟副理事长单位、北京市专精特新中小企业、北京市高精尖产业设计中心等荣誉,这些资质不仅是对技术的认可,更是对初心的见证。
在半导体封装这条漫长而艰辛的赛道上,北京中电科始终以长期陪伴的姿态,与客户并肩前行。从华天科技到天岳先进,从天科合达到通威电子,从芯联集成到众多中小封装企业,公司的减薄设备已广泛应用于IC芯片、功率器件、封装及其复合材料的减薄加工。在硅基衬底、先进封装、SiC材料、器件端、化合物半导体材料、键合bonding wafer、制冷、激光材料等领域,工艺实验室都能提供专业、及时的减薄、抛光解决方案。面对未来,公司将继续深耕减薄技术,聚焦超薄片、大尺寸、新材料等前沿方向,不断优化设备性能,降低综合运营成本,提升自动化与智能化水平。同时,公司将持续完善售后服务体系,缩短备件交期,降低上门维修费用,让客户无后顾之忧。立足当下,展望未来,北京中电科将始终坚守责任、创新、卓越、共享的初心,用台台可靠的减薄设备,助力中国半导体封装产业走向更广阔的天空。这份温度,不会因时间而褪色,这份坚守,不会因挑战而动摇。
(本文章内容包含AI生成)