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产品规格
可售数量: 1000套
· 本公司专为废气及半导体批发高能量准分子(Excimer)灯可有效放射波长172nm-180nm以下的VUV(真空紫外线),可 以往的185+254nm的紫外线杀菌灯的效率!废气净化油烟净化,半导体等领域从此迎来革命性的更新.....
高能准分子光源特点:
☑单色性好,紫外输出能量集中,紫外输出强度高,可达60μw/cm2;
☑ 非相干光有利于大面积加工;
☑无传统光源固有的电极腐蚀现象,使用寿命极大加长;
☑可随时瞬间开启熄灭,无需预热,无需快门,开关次数不影响使用寿命;
☑ 开启和运行不受周围环境温度影响;
☑冷光源,不产生红外输出,对被处理对象无明显加热效应;
☑ 绿色环保。制造无需用汞,无二次污染和废旧灯管回收处理问题。
172 nm波长准分子灯应用领域:
波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV,足以打开大多数分子键,能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应,可广泛应用于:
☑ 半导体表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程,清洗掩摸,去除光刻胶;
☑表面刻蚀和改性(如聚酰亚胺,氟材料等);
☑低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等;
☑光氧化、光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性;
☑ 室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电极;
☑ 表面活化,以增加表面张力和湿润性;
☑有机降解。除总有机碳(TOC)制取超纯水,分解农药残留,印染废水的光化学脱色;
☑废气净化,油烟净化比传统的185+254nm紫外线杀菌灯效率高;
· □HDD光碟清洗
· ☑助剂剥离
· ☑助剂残渣的剥离
· ☑塑胶基板清洗
· ☑金属表面的清洗与重组
· ☑Low-k Cure
· ☑pdp荧光头评估
· ☑分析评估前的清洗
· ☑恶臭气体分解
· ☑形成氧化膜
· ☑防止带电
· ☑干燥
· ☑玻璃胶膜的贴合
· ☑纤维的改质
· ☑有机EL封装管的结合性提升
· ☑有机EL的工作函数增加
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单一波长、低溫处理
波长范围窄,172正负10nm,发光效率高。红外线发生量少,温度低,对产品影响小;可瞬间点灯,省去待机准备的时间;照射的同时可进行除静电处理;放电管内不充入汞等有害物质,对环境不产生 影响。并可达到不使对象物产生非必要反应或热的低溫处理。
率
从电力转换为光能源的效率高(172nm型的转换率10%),即使低电力已可产生大的能量。
可即亮灯即关灯
基于必要时照射必要量的能量,因此具备「不需要快门」、「实际上可延长使用寿命」等各种优点。
安装方向不受限制
灯的亮灯方向不受限制,可配合生产线做立面照射。
波长分布曲线;
对有机物的分解;
洁康的真空紫外线(VUV)方法的能量为7.2 eV,因此不会离解氮(N2)分子的键。因此,原则上不产生NOx(氮氧化物)。
使用汞灯的紫外线法;
常规的紫外线杀菌灯产生臭氧的波长(185 nm)和分解时的波长(254 nm)由于存在矛盾,很难有效地产生臭氧,
因此,洁康紫外线专注于真空紫外线,并利用其自身的技术原理上抑制了氮氧化物的产生,并有效地将VUV与无汞灯一起使用。通过产生臭氧,我们解决了每个问题。
臭氧产生
汞灯可解离波长为185 nm(6.7 eV)的氧气,从而产生臭氧。但是,由于它也会发出254 nm(4.9 eV)的光,因此它会分解产生的臭氧。因此,汞灯不能产生高浓度的臭氧。
另一方面,真空紫外光(VUV)具有短波长并能以高能量离解氧气,因此对氧气的吸收系数约为汞灯的10倍或以上,对臭氧的吸收系数约为1/10,因此VUV比汞灯更好。VUV产生的臭氧浓度更高。
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13362379276
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0573-87081421
172nm灯管 高能准分子灯管 高臭氧灯管 准分子灯管 172nm准分子 油烟净化灯管 废气处理灯管
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