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产品规格
可售数量: 200支
3424 氮化钽靶材 TaN磁控溅射材料 电子束镀膜蒸发料
【参数说明】
支持靶材定制,请提供靶材产品的元素、比例(重量比或原子比)、规格,我们会尽快为您报价!!
【产品介绍】
ε氮化钽为黑色六方结晶。相对密度13.4;熔点3090℃;显微硬度1100kg/m2;热导率9.54W/ m·K ,电阻率128μΩ·cm。δ氮化钽为黄绿色结晶,属氯化钠型结晶,相对密度15.6。晶格常数a=0.4336nm,c=0.4150nm,熔点2950℃,显微硬度3200kg/mm2,转化点温度17.8K。不溶于水、酸,微溶于王水,加热至2000℃即释放出氮气。
中文名 | 氮化钽 | 熔点 | 3090℃ |
化学式 | TaN | 沸点 | 未确定 |
分子量 | 612.8771 | 密度 | 13.4g/cm3 |
【关于我们】
服务项目:靶材成份比例、规格、纯度均可按需定制。科研单位 ,质量保证,售后无忧!
产品附件:发货时产品附带装箱单/质检单/产品为真空包装
适用仪器:多种型号磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发设备
质量控制:严格控制生产工艺,采用辉光放电质谱法GDMS或ICP光谱法等多种检测手段,分析杂质元素含量保证材料的高纯度与细小晶粒度;可提供质检报告。
加工流程:熔炼→提纯→锻造→机加工→检测→包装出库
陶瓷化合物靶材本身质脆且导热性差,连续长时间溅射易发生靶裂情况,绑定背靶后,可提高化合物靶材的导热性能,提高靶材的使用寿命。我们强烈建议您,选购陶瓷化合物靶材一定要绑定铜背靶!
我公司采用高纯铟作为焊料,铟焊厚度约为0.2mm,高纯无氧铜作为背靶。
注 :高纯铟的熔点约为156℃,靶材工作温度超过熔点会导致铟熔化!绑定背靶不影响靶材的正常使用!
建议:陶瓷脆性靶材、烧结靶材,高功率下溅射易碎,建议溅射功率不超过3W/cm2。
我公司主营金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材,欢迎您的垂询。
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15133423097
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010-86208200
京迈研3424 氮化钽靶材 TaN磁控溅射材料 电子束镀膜蒸发料
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