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京迈研3424 氮化钽靶材 TaN磁控溅射材料 电子束镀膜蒸发料

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产品规格

可售数量: 200支

北京京迈研材料科技有限公司

10年

经营年限

北京

所在地区

10.0

综合评分

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产品属性

3424  氮化钽靶材  TaN磁控溅射材料 电子束镀膜蒸发料 

【参数说明】

支持靶材定制,请提供靶材产品的元素、比例(重量比或原子比)、规格,我们会尽快为您报价!! 

【产品介绍】

ε氮化钽为黑色六方结晶。相对密度13.4;熔点3090℃;显微硬度1100kg/m2;热导率9.54W/  m·K  电阻率128μΩ·cm。δ氮化钽为黄绿色结晶,属氯化钠型结晶,相对密度15.6。晶格常数a=0.4336nm,c=0.4150nm,熔点2950℃,显微硬度3200kg/mm2,转化点温度17.8K。不溶于水、酸,微溶于王水,加热至2000℃即释放出氮气。

中文名

氮化钽

熔点

3090℃

化学式

TaN

沸点

未确定

分子量

612.8771

密度

13.4g/cm3

 

【关于我们】

服务项目:靶材成份比例、规格、纯度均可按需定制。科研单位 ,质量保证,售后无忧!

产品附件:发货时产品附带装箱单/质检单/产品为真空包装

适用仪器:多种型号磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发设备 

质量控制:严格控制生产工艺,采用辉光放电质谱法GDMS或ICP光谱法等多种检测手段,分析杂质元素含量保证材料的高纯度与细小晶粒度;可提供质检报告。 

加工流程:熔炼→提纯→锻造→机加工→检测→包装出库

陶瓷化合物靶材本身质脆且导热性差,连续长时间溅射易发生靶裂情况,绑定背靶后,可提高化合物靶材的导热性能,提高靶材的使用寿命。我们强烈建议您,选购陶瓷化合物靶材一定要绑定铜背靶!

我公司采用高纯铟作为焊料,铟焊厚度约为0.2mm,高纯无氧铜作为背靶。

 :高纯铟的熔点约为156℃,靶材工作温度超过熔点会导致铟熔化!绑定背靶不影响靶材的正常使用!

建议:陶瓷脆性靶材、烧结靶材,高功率下溅射易碎,建议溅射功率不超过3W/cm2。

我公司主营金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材,欢迎您的垂询。

材质 氮化钽
规格 根据要求定制
类型
型号 3424
品牌 京迈研
纯度 99.99
价格 可面议报价
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