微波等离子清洗机 ,PDMS微流控芯片键合方案

等离子清洗机用于晶圆或碎片的表面处理及光刻胶去除，晶圆表面预处理—增加表面亲水分子团,提高表面能量，促进粘附性，也可以用于PDMS等键合前的材料表面处理或改性

等离子清洗机具有清洗、表面激活、蚀刻、涂层的作用.利用等离子高能粒子与材料表面发生物理和化学反应，可以实现对材料表面进行激活、蚀刻、除污等工艺处理，以及对材料的摩擦因数、粘合和亲水等各种表面性能进行改良的目的。

1、等离子清洗机对材料表面的刻蚀作用–物理作用：

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

2、等离子清洗机的激活键能，交联作用：

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

3、形成新的官能团–化学作用：

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

等离子清洗机是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用，将附着在物体表面的污垢彻底剥离去除。