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等离子清洗机是一种干式清洗，依靠等离子体中活性粒子的“5种作用”，增强粘接、贴合、焊接、涂覆、邦定、除胶效果。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。

等离子清洗机半导体封装领域清洗活化 增强表面涂覆和封装粘接性

plasma等离子清洗机能处理金属、半导体、氧化物和大多数聚合物材料，例如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、环氧树脂，甚至是聚四氟乙烯，而与处理基材的类型无关。也可清洗整体、局部及复杂的结构。所以等离子清洗机特别适合于不耐高温、耐溶剂的材料。也可选择对材料的整体，局部或复杂结构进行局部清洗。等离子清洗机在清洗和去污完成后，材料本身的表面性能会得到改善。如提高表面的润湿性、提高材料的粘附性等

等离子处理设备应用于等离子清洗、刻蚀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过等离子清洗机的处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。

等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁等目的。

等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、活化和表面准备等。主要是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。