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等离子清洗机的清洗原理是在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以提高材料表面的粗糙度。

等离子清洗机对玻璃处理主要是解决玻璃镀膜、喷漆、粘接不牢等这些问题

等离子清洗机是利用等离子体来达到传统清洗方法无法达到的效果。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、活性基团、核素的激发态(亚稳态)、光子等。等离子体清洗机的目的是利用这些活性成分的性质对样品表面进行清洗和涂覆。

等离子清洗机能对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。采用等离子清洗机对基片表面进行清洁活化，玻璃表面能得到改善，不仅能有效去除吸附在基片上的环境气体分子、水汽和污染物，基片表面会形成清洁活化的微观粗糙面，而且避免了二次污染。

利用等离子清洗机对玻璃表面进行改性，设备简单，原材料消耗少，成本低廉，产品的附加值高优化玻璃镀膜，粘合及去膜工艺，低温等离子体清洗机表面改性材料目前已广泛应用于电容、电阻式手机触摸屏等一些需要精加工的玻璃。经过等离子清洗机处理后的玻璃可以达到点72达因，水滴角可以降到10度以内。解决了玻璃难粘接、印刷、电镀难的问题。

等离子清洗机在表面工程应用，包括表面清洗、表面活化、表面灭菌、表面能蚀变、提高表面润湿性能、粘接和粘附的表面制备、表面化学改性以及表面处理。通过活化、接枝和表面包覆对聚合物和生物材料进行表面刻蚀、表面活化处理。