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等离子清洗机处理不会在表面产生损伤层，是无损处理工艺，等离子体清洗机处理引入了极性官能团，这些官能团增加了基材的润湿性。表面润湿性的提高增强了微流体装置内的流体流动，并改善了PDMS的生物相容性。

等离子清洗机处理PDMS表面提升表面键合封装效果，等离子清洗机既可以用于晶圆或碎片的表面处理及光刻胶去除，也可以用于PDMS等键合前的材料表面处理或改性。

等离子清洗机，PDMS微流控芯片键合方案，可用于键合PDMS和PDMS、PDMS和玻璃，以及PDMS表面亲水改性

等离子体清洗机不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体清洗机来处理。因此等离子清洗机特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；

等离子体清洗机除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能如增加表面张力，精细清洁，去除静电，活化表面

等离子体清洗机的等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。等离子体清洗机对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子体清洗机的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。等离子体清洗机广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。