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等离子体清洗机作用于材料表面，半导体封装等离子清洗机形成表面分子的化学键，形成新的表面特性。对于一些有特殊用途的材料，等离子清洗机在超清洗过程中的辉光放电，不仅增强了这些材料的附着力、相容性和润湿性，而且对它们进行消毒杀菌。

等离子清洗机广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微流体工程等领域。

等离子清洗机是高精度的干法清洗设备，它的清洗范围为纳米级别的有机和无机污染物。等离子清洗机处理基片上吸附的环境气体、水汽和污物, 同时使基片表面活化, 增强ITO膜与基片表面的结合力, 从而大大提高了ITO 膜导电玻璃的质量

利用等离子体清洗机对 LCD玻璃进行清洗，去除了杂质颗粒，提高了材料的表面能，使产品的成品率出现数量级的提高。同时由于射流低温等离子体是电中性的，因此在处理时不会损伤保护膜、ITO 膜层和偏振滤镜。喷漆前对仪表板采用等离子清洗机进行处理，可以防止油漆脱落。 粘合前对控制面板采用等离子清洗机进行处理可以增加粘合强度。等离子清洗机清洗精密零件，去除（去除）加工后残留在表面的油污。

在ITO玻璃涂层前采用plasma等离子体清洗机进行处理，可提高表面亲水性，经过等离子体清洗机处理后，基片表面清洁活化，表面能提高

等离子清洗机处理为气固相干反应，不消耗水资源，不添加化学试剂，对环境无污染。