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等离子清洗机增加产品表面张力，等离子表面处理设备不伤产品，提高材料表面的润湿性能，亲水能力，附着力，渗透能力提高表面粘接的可靠性和持久性。

等离子清洗机也是工艺干法化的进步成果之一,等离子清洗机不需要添加任何溶剂，且无有害物质产生，与湿法清洗不同，等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。等离子体在电磁场的作用下高速运动，冲击物体表面，起到清洗、刻蚀、活化、改性的目的。从目前各类清洗方法来看，等离子体清洗机也是所有清洗方法中彻底的剥离式的清洗。

等离子清洗机不分处理对象的基材类型，均可进行处理，如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料(如：聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、环氧、甚至聚四氟乙烯)等原基材料都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。等离子清洗机清洗的重要作用之一是提高膜的附着力，如在Si衬底上沉积Au膜，经等离子体清洗机处理掉表面的碳氢化合物和其它污染，明显改善了Au的附着力。等离子体清洗机处理后的基体表面，会留下一层含氟化物的灰色物质，可用溶液去掉。同时有利于改善表面沾着性和润湿性。在清洗过程中经等离子体表面活化形成的自由基，能够进一步加成特定官能团，这种特定官能团的引入，特别是含氧官能团，对改善材料的沾着性和湿润性能起着明显的作用