等离子清洗机机对玻璃基板芯片的应用

等离子清洗机表面活化改性在芯片，IC，LCD,手机玻璃行业的应用。等离子表面活化清洗设备对LCD玻璃表面进行清洗，去除了杂质颗粒，提高了材料的表面能，使产品的成品率出现数量级的提高。同时由于射流等离子体是电中性的，因此在处理时不会损伤保护膜、ITO 膜层和偏振滤镜。而且等离子清洗机的处理过程可以“在线”进行，并且无需溶剂，因此更加环保。等离子清洗机具有工艺简单、操作方便、无废物处理、无环境污染等优点。

玻璃本身比较脆弱，实际使用时常常需要镀膜，对玻璃盖板进行保护，保护膜在生产过程中需要通过等离子清洗机对该保护膜进行表面活化改性，提高表面的附着力。经过等离子清洗机处理后，玻璃表面再进行粘接、镀膜，可靠性就能大幅度提高。LCD端子采用等离子清洗机进行处理，提高表面附着力。

在玻璃基板（LCD）上安装裸芯片IC的COG工艺过程中，当芯片粘接后进行高温硬化时，在粘接填料表面有基体镀层成分析出的情况。还时有Ag浆料等连接剂溢出成分污染粘结填料。如果能在热压绑定工艺前用等离子清洗机的表面活化清洗技术去除这些污染物，则热压绑定的质量能够大幅提升。进一步说，由于基板与裸芯片IC表面的润湿性都提高了，则LCD—COG模块的粘结密接性也能提高，同时也能够减少线条腐蚀的问题。

等离子清洗机通常用于光刻胶去除工艺。将少量氧气引入等离子体反应系统。在强电场的作用下，氧气产生等离子体，将光刻胶迅速氧化成挥发性气体，并被抽出。等离子清洗机具有操作方便、效率高、表面清洁、无划痕等优点，有利于保证产品的质量。并且不使用酸、碱、有机溶剂，越来越受到人们的关注。