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等离子清洗机应用于晶圆加工前处理
2023-04-06 14:18:36
芯片键合线的连接质量是影响设备可靠性的重要因素。连接线的连接区域应保证零污染,连接效果明显。氧化物、有机残留物等污染物的存在,会严重削弱电缆连接的拉力值。传统意义上,湿法清洗不彻底或不能清除键合区的污染物,而等离子清洗器的清洗能有效清除键合区的表面污垢,活化其表面,大大提高连接线的键合强度,进一步提高包装设备的可靠性。

在键合过程中,芯片和封装基板之间往往存在一定程度的粘附,通常是疏水性和惰性的。键合性能较差,在键合界面处容易出现缝隙,给芯片带来很大的隐患。芯片和封装基板经等离子清洗机处理后,可有效提高芯片的表面活性,可进一步提高环氧树脂在芯片和封装基板表面的粘接流动性,增加芯片和封装基板之间的粘接渗透性,降低分层增加了芯片封装的可靠性和稳定性,延长了产品的使用寿命
用等离子清洗机处理清洗机产生的辉光等离子体,可以有效地去除被处理材料表面的原始污染物和杂质,产生蚀刻作用,使样品表面粗糙,并产生许多小凹坑,增加了接触面积,提高了表面的润湿性(俗话说,增强了表面的附着力,增强了亲水性)。等离子清洗机应用广泛,可以解决粘接、印刷、喷涂、静电去除等技术难题
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