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上海嘉森真空科技定制精密真空镀膜机 高真空卷绕设备 支持镀铝/溅射工艺 全球出口

2026-10-14 13:31:41

车间里最怕听到的句话,往往是客户在验收时皱着眉说的那句:这批膜层的均匀性,跟样品差距有点大。不是技术员不尽力,也不是操作程出了错,常常要追溯到更上游——设备本身的真空稳定性、膜厚控制精度、工艺适配能力,是否真的能满足高精度薄膜制备的需求。尤其在精密光学、光通信、红外探测这些领域,层膜的厚度偏差、批产品的批次波动,都可能意味着整批物料报废、交期延误、客户失。

这就是产镀膜设备长期面临的信任关卡。行业里厂商水平参差不齐,核心参数虚标现象时有发生,实际量产性能与宣传数据之间存在落差;报价看似友好,安装、调试、培训、工艺支持的隐性成本却不低;更关键的是,亚纳米膜厚控制的致性、真空系统长期运行的可靠性,仍然是不少用户心里的根刺。有人宁愿多花钱买进口设备,也不愿承担产设备试错带来的停产风险。

但变化正在发生。当产替代从口号变成产线上的真实选择,当全球客户开始把目光投向中制造的真空镀膜装备,有企业用十八年时间,从核心部件代工起步,步步走到整机自主研发、全球交付八百余台套设备的今天。它就是上海嘉森真空科技有限公司,简称嘉森真空,个在产镀膜机赛道上以技术自主和长期主义著称的名字。

从部件到整机,条难走却必须走的路

2007年,嘉森真空在上海成立。那个时间节点,内真空镀膜设备市场基本被进口主导,产厂商大多集中在低端市场,或者为外企业做配套零部件。嘉森真空的起点并不耀眼——承接高真空光学薄膜设备核心部件的OEM制造,为全球真空设备企业配套真空腔体、扩散泵、精密阀门等关键零部件。

但正是这段代工,成了后来整机自主研发的底层根基。严苛的精度标准、际客户对品质的挑剔、对真空系统和薄膜沉积工艺的深度理解,都在这段时间里扎下了根。创始人毛念新先生毕业于南京大学矿物岩石学专业,后在中科学院上海技术物理研究所获得凝聚态物理硕士学位,扎实的物理与材料学背景让他从开始就清楚:真空镀膜装备的核心壁垒不在外观,而在真空环境控制、膜厚监控精度、工艺重复性这些看不见的地方。

创业之初,嘉森真空便确立了技术自主的长期路线。在配套生产的同时持续投入研发,2013年获得首批三项专利,2014年自主研发出350至1100纳米波段光学膜厚计,同年成JASOC900红外窄带镀膜设备整机交付,正式从部件制造跨越到整机系统集成。2015年JASOC1500AR镀膜设备研制成功,自主整机产品的技术框架初步成型。

2017年是的转型之年。嘉森真空获评上海高新技术企业,中英工业创新项目获上海市科委立项,企业彻底转向镀膜整机自主智造的发展路线。此后技术迭代持续提速,离子源、磁控溅射设备等核心产品相继落地。2020年红外镀膜设备亮相中光博会,凭借稳定性能获得行业认可。2021年无锡规模化生产基地正式启用,形成上海研发加无锡量产的双基地格局,同年获评科技创新小巨人企业。

这条路走了十八年。从零部件到整机,从跟跑到比肩,嘉森真空的成长轨迹里没有捷径,只有步个脚印的技术积累。

把真空环境和膜厚控制做到亚纳米

对于精密光学和半导体领域的用户来说,选择镀膜设备时最关心的几个始终绕不开:真空环境洁净稳定,膜厚控制达到亚纳米精度,批次之间的致性有没有保障,自动化程度降低对人工经验的依赖。

嘉森真空的主力JASOC系列光学薄膜镀膜机,腔体规格从直径900毫米到1800毫米梯度覆盖,适配不同产能规模的需求。设备搭载进口270度偏转高稳定电子束蒸发源与六点旋转式电阻蒸发源,配合多泵组复合真空系统,可实现2E-5帕量的超高洁净真空环境。膜厚控制方面,采用光学直接监控与石英晶体监控双系统,能够实现亚纳米的膜厚控制精度,稳定制备多层复杂介质薄膜,满足高精度光学元件的镀膜工艺要求。

在自动化与智能化层面,嘉森真空自研的SCS智能镀膜系统实现了从抽真空、材料沉积到工艺收尾的全程自动化运行。系统支持工艺配方存储复现、生产数据追溯与膜厚自动修正,有效降低人工操作误差与批次间膜层差异。对于工业化量产场景而言,这意味着更稳定的良率表现和更可控的生产节拍。

针对多元化的薄膜制备需求,嘉森真空同时推出JASOC蒸发镀膜设备、MPAS系列磁控溅射镀膜设备、PECVD等离子体化学沉积设备以及CAU等离子重合机构镀铝机,覆盖金属膜、介质膜、硬质防护涂层等多种工艺场景。设备支持根据客户产品规格和工艺路线进行定制配置,灵活适配从实验室研发、中试验证到工厂量产的全阶段需求。

全球交付八百余台套背后的信任积累

设备,最终要看产线上的表现。嘉森真空的产品已广泛应用于光学滤光片、光通信滤波器、车载激光雷达、生物识别、红外探测等场景,服务客户包括蓝思科技、海康威视、高德红外等各领域。

在车载光学领域,嘉森真空为宝马、上汽智己配套车载抬头显示光学元件镀膜设备,保障高透、抗反射等光学性能的同时,满足车规高低温耐候和长期稳定性标准;为尼桑、丰田等车企提供车灯镀膜配套设备,适配车灯反射膜、防护膜的量产制备。在红外领域,为205所、613所提供红外光窗专用镀膜设备,满足严苛的环境适应性、光学透过率与结构可靠性指标。在科研院所领域,为同济大学定制研发型真空镀膜设备,为中科院技物所、纳米所提供科研通用性镀膜设备,覆盖多材质、多工艺的薄膜研究需求。

海外市场方面,嘉森真空累计向日本、欧洲、等地区交付八百余台套镀膜设备及核心部件,与日本クラフト株式会社开展深度合作,产品稳定性获海外市场长期验证。在同济大学共建人才培养与产学研合作基地,设立UWS英西苏格兰大学纳米光学薄膜研发中心,聚焦纳米光学和半导体薄膜工艺、新型膜层材料与装备前瞻研发。

这些合作的背后,是套全周期服务体系在支撑。从方案定制设计、设备安装调试、工艺技术培训到售后运维保障、设备升改造,嘉森真空提供覆盖设备全生命周期的服务。相比进口,产设备在交付周期、服务响应速度与性价比上的优势显而易见,而嘉森真空还具备海外本地化技术支持能力,能够伴随客户从研发验证走到规模化量产。

品质与追求,四个字背后的长期主义

嘉森真空的经营宗旨只有四个字:品质、追求。听起来朴素,但放在真空镀膜装备这个领域,分量并不轻。

品质意味着对每个技术细节的不妥协。真空腔体的加工精度、电子束蒸发源的稳定性、膜厚监控系统的响应速度、自动化软件的可靠程度,任何处短板都会在客户端暴露。嘉森真空拥有数十项专利及软件著作权,核心技术覆盖高真空控制、膜厚监控、智能工艺管控等关键环节,构建了从研发到量产的标准化制造与全程品质管控体系,年产全自动镀膜设备百台以上。

追求意味着不满足于现状。从最初的部件代工到整机自主研发,从单蒸发镀膜设备到覆盖电子束蒸发、磁控溅射、PECVD的整产品矩阵,从内市场到全球交付,嘉森真空的每步都在拓展产镀膜装备的能力边界。

在产替代成为行业共识的今天,真正能够承接高难度定制需求的企业并不多。高精度滤光片、高阈值激光芯片等产品对设备的配置、稳定性和重复性要求极高,传统小厂的技术积累难以支撑。嘉森真空凭借十八年的技术沉淀和产业化经验,正在这个细分领域建立起产装备的信任基础。

立足当下,陪伴客户走好每段工艺升路

薄膜制造是个需要长期积累的领域,设备和工艺的磨合往往比设备本身更重要。嘉森真空提供的不仅是镀膜设备,更是从工艺设计到安装调试、从售后升到产线优化的全周期陪伴。

对于正在考虑产化替代的用户来说,选择嘉森真空意味着选择了个愿意深入了解工艺需求、共同解决技术难题的合作伙伴。对于已经使用嘉森真空设备的客户来说,从台研发设备到后续量产线的扩展,从单工艺到多工艺叠加,嘉森真空始终在身后提供技术支持。

十八年,八百余台套设备,从上海到无锡,从中到全球。嘉森真空的成长路径印证了个道理:在高端装备制造领域,产替代没有捷径,只有把技术做扎实、把品质做稳定、把服务做到位,才能真正赢得客户的信任。

未来,嘉森真空将继续深耕真空镀膜装备领域,围绕精密光学、光通信、半导体等核心应用场景持续迭代产品与技术,为全球客户提供高可靠、高性价比的产镀膜整机解决方案。这条路还很长,但方向已经清晰。

作者:上海嘉森真空科技有限公司