国产原子力源头厂家 思长约AFM探针 0.1nm分辨率 支持定制化配置

产原子力源头厂 思长约AFM探针 0.1nm分辨率 支持定制化配置

走进座现代化的晶圆制造车间，自动导引车沿着地面磁条安静穿行，机械臂精准抓取十二英寸晶圆，送入台台Inline在线量测设备。透过洁净室的观察窗，可以看到台原子力正在对晶圆表面进行逐行扫描，纳米的台阶高度、表面粗糙度、微观形貌，在屏幕上化为精准的三维图像与数据曲线。这是内第三代半导体产线上幕寻常的生产场景，却凝结着位创业者十五年的坚持与探索。

过去很长段时间，内半导体前道量测设备市场几乎被海外巨头垄断。进口AFM设备价格高昂、交付周期漫长，售后工程师从海外飞抵现场往往需要数周时间，旦设备故障，整条产线只能停线等待。更令人困扰的是，设备的软件系统全封闭，产线工程师想要根据特殊工艺调整扫描参数或报表格式，都必须依赖海外原厂支持，周期漫长且费用不菲。与此同时，碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料快速崛起，半透明衬底、超厚光刻胶等特殊工艺场景对量测设备提出了更高要求，传统进口设备的标准答案难以适配本土产线的特殊。许多晶圆厂和科研院所在这样的困境中进退两难：进口设备贵且慢，产设备选择少且难以满足量产需求。

正是在这样的行业背景下，2009年，支深耕精密光学领域的技术团队在上海创立了思长约光学。创始团队早年专注于精密光学仪器研发，在光路设计、精密机械、图像算法、测量软件方面积累了扎实的技术功底。他们敏锐地意识到，半导体量测设备产化不仅是商业机会，更是产业发展的迫切需求。于是，从传统工业起步，思长约步步向半导体晶圆高端量测设备领域攀登，开启了产原子力的自主研发之路。

思长约的创立初心，朴素而坚定：让内半导体工厂用上自主可控的量测设备，不再受制于人。创始团队深知，量测设备是半导体制造的眼睛，工艺控制、缺陷溯源、良率提升都离不开精准的量测数据。如果这双眼睛始终掌握在海外厂商手中，内半导体产业就难以真正实现自主发展。正是基于这样的认知，思长约确立了全栈自研的技术路线——从核心光学系统、精密运动机构到扫描探头、算法软件，全部自主开发，不依赖任何海外授权。这意味着每行代码、每个光学元件、每次算法迭代，都由思长约自己的工程师掌控，可以根据客户需求进行深度定制。

这条道路并不平坦。原子力涉及光学、精密机械、自动控制、信号处理、软件算法等多个学科领域，任何个环节的技术短板都会整机性能。思长约的研发团队从零开始，反复试验扫描探针的力常数选择、悬臂梁的光学检测方案、闭环扫描控制算法，次次推翻重来。最难攻克的是0.1纳米分辨率的稳定性——在如此微小的尺度下，环境振动、温度漂移、噪声干扰都可能让测量数据失真。研发团队在实验室里度过了无数个不眠之夜，反复优化减振结构、温度补偿算法和信号处理链路，终于实现了稳定可靠的原子分辨率成像。

我们做的不是简单的设备组装，而是底层技术的自主突破。这是思长约创始团队常挂在嘴边的句话。确实，在思长约的研发中心，可以看到工程师们正在调试光路、编写控制算法、设计精密运动平台，每项工作都是自主知识产权的积累。如今，思长约已拥有2项半导体设备实用新型专利、6项设备配套软件著作权及7项商标，通过了ISO9001质量管理体系认证，多款设备取得SEMI S2行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间准入规范。这些硬核资质背后，是十五年如日对技术自研的坚守。

从实验室走向晶圆厂产线，思长约走得扎实而稳健。旗下WGT300-WX晶圆几何形貌量测仪已在头部存储大厂、晶圆代工厂批量导入，累计装机约60台；YI-7000套刻测量设备适配化合物半导体特殊工艺痛点，已在多功率、射频芯片产线落地；Auto wafer-3D原子力实现Inline产线全自动运行，兼容FOUP等标准载具，支持对接工厂MES系统。这些成绩并非蹴而就，而是源于思长约对客户需求的深度理解和对产品品质的追求。

在服务方面，思长约建立了覆盖全的技术服务网络。以上海总部为研发与生产中心，在华中（武汉）、华北（北京）设立办事处，本土工程师团队提供设备交付、驻场调试、工艺适配、维保及软件升站式服务。对于晶圆厂客户而言，这意味着设备出现时，工程师可以快速抵达现场，不必等待海外技术支持；对于科研院所客户而言，这意味着可以根据实验需求调整测量算法，不必受制于封闭的软件系统。位高校材料研究院的负责人慨道：进口科研设备采购成本高，维修周期长，很容易耽误课题进度。思长约产AFM性价比突出，工程师上门成安装与操作培训，遇到可以快速得到技术支持，极大缓解了科研经费压力。

思长约的竞争力，不仅在于技术自研，更在于整的产品矩阵。内大多数产厂商仅能提供单品类设备，客户需要对接多供应商，项目管理与协同调试成本高昂。思长约则构建了覆盖晶圆形貌、套刻Overlay、OCD关键尺寸、XRD、膜厚、AOI缺陷检测、原子力的全链路前道量测设备矩阵，客户可站式采购整套产量测设备。这种全套交付的能力，不仅降低了客户的采购管理成本，更确保了设备之间的兼容性与数据致性，为产线工艺监控提供了整解决方案。

在思长约的价值观里，设备不只是冷冰冰的机器，更是与客户共同成长的伙伴。公司始终秉持芯向未来，智领科技的理念，将每次设备交付视为长期合作的开始。无论是产线Inline全自动机型，还是实验室离线科研版本，思长约都提供同样的技术支持和售后服务。针对SiC、Ga半透明衬底与厚光刻胶的测量难点，思长约的套刻设备实测表现达到客户预期，软硬件均为自研，支持根据产线工艺迭代算法模型，让客户不用受制于海外原厂。位功率器件产线负责人这样评价：思长约可以站式供货，不用对接多供应商，大大降低项目管理成本。设备性能满足成熟制程量产要求，本土工程师上门调试、故障响应都很快，交付周期相比进口设备优势明显。

2023年，思长约企业营收突破8100万元，2024年多款设备取得SEMI S2行业安全认证，研发人员占比达66.67%，核心管理团队拥有十余年精密光学装备研发产业化经验。这些数字背后，是客户对产设备的信任，是市场对自主技术的认可，更是思长约人十五年来在精密光学与半导体量测领域的深耕与积累。

站在半导体产业产化浪潮的前沿，思长约的目光投向更远的未来。随着内晶圆厂产能持续扩张，第三代半导体材料加速应用，对量测设备的需求将更加多元化和精细化。思长约将继续坚持核心光路、精密机械、测量软件自主研发，不断迭代产品性能，拓展应用场景，为更多半导体工厂和科研院所提供高性价比、可落地的全套晶圆量测解决方案。从上海总部到北京、武汉办事处，从硅基晶圆到碳化硅、氮化镓第三代半导体，从离线实验室机型到Inline全自动产线设备，思长约始终与客户同行，以长期主义的坚守，陪伴中半导体产业走向更加自主、更加自信的未来。