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等离子区工作原理：当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。

现在，很多的行业都在用的到等离子光氧一体机，这种设备主要是两种设备的共同体，这两种设备分别是等离子废气净化器和光氧催化废气净化设备，主要是将两种设备的优点集合在一体，利用等离子分解技术和uv光氧催化技术相结合，对工业产生的废气进行协同净化处理，等离子光氧一体机主要具有率、运行成本偏低、占地面积不大并且没有任何机械动作的好处，

在分解过程中产生高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV O2→O- O*(活性氧)O O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有极强的清除效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭菌的目的。光氧催化区工作原理：通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可有效地杀灭细菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，强化催化氧化作用。