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溅射靶材的特征和事项
2020-10-23 13:44:38
溅射靶材分类
溅射靶主要包含整个产业链节金属的精炼，生产目标，溅射和终端应用，其中，所述目标生产和溅射是纲在链节的溅射靶。
溅射靶材按化学成分可分为：
（1） 金属靶（纯金属靶材，铜，钽，钛，铝等）
（2） 合金靶材（镍铬合金、镍钴合金等）
（3）化合物材料（珪化物、珪化物、硫化物等）
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