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电子洁净厂房的要点知识

2020-12-01 14:08:59


不同洁净室要求需要也不同,博泰小编带大家了解电子洁净厂房的要点知识有哪些。


一、 电子洁净厂房的概念   

电子洁净厂房一般包括四个部分:洁净生产用房,空调冷冻机房,纯水和气体净化站,人员、物料净化用房。我国国家标准将洁净室定义为“空气悬浮粒子浓度受控的房间”。包括了洁净室以空气中悬浮粒子浓度为主要控制对象,空气洁净技术所依据的基本原理,不同的应用要求及控制级别对其它有关参数的控制要求。

洁净室按不同分类方式有很多种。按洁净室用途分,可分为工业洁净室和生物洁净室;按气流组织形式分,可分为单向流洁净室、非单向流洁净室、混合流洁净室、矢流洁净室;按洁净室建造方式分,可分为土建式洁净室和装配式洁净室;按空气洁净设备的布置方式分,可分为全室型洁净室、局部型洁净室和结合型洁净室。 


二、电子洁净厂房的特点 

1. 分类众多,有集成电路生产,平面显示器生产,硅材料生产,光纤生产,制卡业,表面贴装,分离器件生产,整机组装生产,自控元器件生产等等。冷负荷比其他行业的洁净室大很多。由于冷负荷大,一般情况下,冬季也需要供冷成为电子行业特点。 

2.维护结构要求严密性非常高,并且要求结构尽量不产生尘、不积尘。目前洁净厂房的围护结构均为夹心彩钢板,夹心层为岩棉、铝蜂窝、纸蜂窝、聚苯、聚氨酯等,根据厂房性质和业主要求进行选择。

3.循环风量大,气流分布要求均匀。洁净室的洁净度是由经过三级过滤的洁净空气来稀释室内被污染的空气或利用活塞效应用洁净空气把被污染的空气挤压出洁净室的方法而达到不同洁净度的,因此洁净空调系统的风量和气流组织形式是保证达到洁净度的关健。

4. 温湿度要求精度高并且恒定。由于电子产品的制造工艺对温、湿度的变化极为敏感,所以空气参数的波动要控制在极小的范围内,因此,自控系统如DDC、PLC等在洁净系统控制中有着不可忽视的作用; 

5.洁净室内换气次数高。新风补给量大。因电子厂房工艺设备有着多种性质的工艺排风,如热、酸、碱、有机气体等因排风量大,这样就需要很大的新风来补给和维持室内的正压,从而保证室内空气不被外界污染。


三、 电子洁净厂房中常见的空调系统形式 

电子洁净厂房的空调系统设计,具有和一般洁净室相同的特点:除尘、防尘、温湿度控制、正压要求、有害气体排放、结构物与隔间的气密性、静电防治、电磁干扰预防、安全因素、节能等。众所周知的形式就是通过空调箱来实现。那么,对于电子洁净厂房的高要求以及其特点,其空调形式又将作如何的变化呢,在洁净室一般都会使用的传统净化空调方式 。

新风机组+空调机组(AHU)+高效过滤器(HEPA)的空调形式 :该空调方式指的是室外新风经过新风机组处理后送入混风机组,混风机组把回风与新风混合并处理至所要求的空气参数后直接用风管送风到各终端高效过滤器(HEPA),通常新风机组将新风处理到室内焓值,不承担室内负荷,只承担新风负荷,由混风机组承担室内的湿负荷和显热负荷。


作者:南京博泰科技创业服务有限公司