钛 靶

一、牌号

国内牌号：TA1、TA2、TA7、TA9、TA10、TC11 。

美标牌号：GR1、GR2、GR7、GR12。

二、靶材的主要性能要求:

（1）纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际

应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。

（2）杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对

不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量

和放射性元素含量都有特殊要求。

（3）密度

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶

材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的

性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密

度也是靶材的关键性能指标之一。

（4）晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶

的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉

积的薄膜的厚度分布更均匀。

三、加工工艺

锻造、轧制。

四、表面

车光、倒角。表面清洁光滑，无起皮，气孔，裂纹等缺陷。

五、规格

Φ10040，Φ9840，Φ9545，Φ9040，Φ8535较常见，其他规格可按客户要求制作。

六、执行标准

国标：GB/T 16598，GB/T2965 。

美标：ASTM B381,ASTM F67,ASTMF136, ASTM B348。

七、检测

破坏性检测：物理性能测试，硬度测试，化学成分测试。

无损检测：超声检测，渗透检测，外观检测。