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大口径激光干涉仪

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产品属性

      G300M大口径激光干涉仪系统是双路测量系统:一路是100mm(4英寸)小口径测 量系统,另一路是大口径平面测量系统。100mm口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大 口径平面测量系统从100mm口径扩束到300mm(12英寸),标配平面透过 标准镜和平面反射标准镜。

      G300S大口径激光干涉仪单光路系统,适合光学车间平面元件的现场检验。 主要用途:平面类光学元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)表面面形、光学平行度和材料均匀性 的测试;准直系统波前质量的测试。球面类光学元件(包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光 圈量规、球面轴承等)表面光圈、局部形变的测量,球面曲率半径的测量(配合光栅尺)。平面类 光学元件(平面镜、水晶、陶瓷、标准量块等)的表面光圈的测量。

     G450M大口径激光干涉仪系统是双路测量系统:一路是100mm(4英寸)小口径测 量系统,另一路是大口径平面测量系统。100mm口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大 口径平面测量系统从100mm口径扩束到450mm(18英寸),标配平面透过 标准镜和平面反射标准镜。
      G450S大口径激光干涉仪单光路系统,适合光学车间平面元件的现场检验。 主要用途:平面类光学元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)表面面形、光学平行度和材料均匀性 的测试;准直系统波前质量的测试。球面类光学元件(包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光 圈量规、球面轴承等)表面光圈、局部形变的测量,球面曲率半径的测量(配合光栅尺)。平面类 光学元件(平面镜、水晶、陶瓷、标准量块等)的表面光圈的测量。

       

仪器规格参数表

产品型号

G450M

G450S

G300M

G300S

测量方式

菲索干涉原理

菲索干涉原理

菲索干涉原理

菲索干涉原理

有效通光口径

100mm和450mm

450mm

100mm和300mm

300mm

标准镜材料

熔石英

熔石英

熔石英

熔石英

光源

波长调谐激光(632.8nm),配合波长移相干涉条纹分析软件
氦氖激光(632.8nm)不选配干涉条纹分析软件

连续变焦倍数

1-6.7倍

固定倍率

1-6.7倍

固定倍率

光路切换

对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换

显示方式

计算机或独立监视器实时显示

小口径平面标准镜

PV:优于λ/20


PV:优于λ/20


小口径球面标准镜

PV:优于λ/10和λ/20


PV:优于λ/10和λ/20


大口径平面透过标准镜

PV:优于λ/10

PV:优于λ/10

PV:优于λ/15

PV:优于λ/15

大口径平面反射标准镜

PV:优于λ/10

PV:优于λ/10

PV:优于λ/15

PV:优于λ/15

大口径综合测量精度

PV:优于λ/10

PV:优于λ/10

PV:优于λ/10

PV:优于λ/10

衰减过滤片

选配

电源

AC100-240V 50/60Hz

推荐气浮平台尺寸
(长X宽)

3.5X1.2米

3.5X1.2米

2.5X1.2米

2.5X1.2米



加工定制
类型 激光干涉仪
品牌 乾曜光学
型号 G300M/S/G450M/S
品种 激光干涉仪
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