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国产高性能白光干涉仪，中图仪器自主研发

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1台起订

产品规格

可售数量： 99台

深圳市中图仪器股份有限公司

采通通 6 年资质认证实名企业

20年

经营年限

广东深圳

所在地区

10.0

综合评分

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图文详情

产品属性

SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

光学3D表面轮廓仪.jpg

SuperView W1白光干涉仪功能

1) 一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。

2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

3) 测量中提供拼接测量功能。

4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。

5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

6) 分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

SuperView W1白光干涉仪技术指标：

光源		白光LED
影像系统		1024×1024
干涉物镜		2.5×，5×，10×，20×，50×
光学ZOOM		0.5×，0.75×，1×
标准视场		0.49×0.49㎜
zui大视场		6×6㎜
物镜塔台		3孔手动
XY位移平台	尺寸	320×200㎜
	移动范围	140×100㎜
	负载	10kg
	控制方式	电动
水平调整		±4.5°手动
Z轴聚焦	行程	100㎜
	控制方式	电动
Z向扫描范围		10 ㎜
Z向分辨率		0.1nm
可测样品反射率		0.5100
粗糙度RMS重复性		0.005nm
台阶测量		准确度	重复性
		0.75	0.1 1σ