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低温等离子体化学反应过程大致如下：
低温等离子体的技术优势
低温等离子体技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物净化技术应用来说是两个非常重要的因素。下图所示为气体流速和浓度与不同治理技术之间的关系。
低温等离子体技术工艺路线示意图：
植物油生产产生的废气异味气体从气体收集系统收集后首先进入预处理器中进行除油，然后再进入等离子体反应器单元，在该区域由于高能电子的作用，使异昧分子受激发，带电粒子或分子间的化学键被打断，产生自由基等活性粒子。同时空气中的水和氧气在高能电子轰击下也会产生OH自由基、活性氧等强氧化性物质，这些强氧化性物质也会与异味分子反应，使其分解，从而促进异味消除，净化后的气体经排气筒高空排放。
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