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碳化硅悬臂浆半导体晶圆悬臂浆窑炉用横梁山东尚美

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¥8000.00

10-19件

¥7500.00

≥20件

产品规格

可售数量： 10件

山东尚美新材料科技有限公司

采通通 6 年资质认证实名企业

7年

经营年限

山东潍坊

所在地区

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碳化硅悬臂浆半导体晶圆悬臂浆窑炉用横梁山东尚美

碳化硅悬臂浆，是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨，主要规格2378毫米，2550毫米，2660毫米等；半导体晶圆悬臂浆应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的（扩散）涂层过程中，对硅片在高温环境中（1000---1300℃）的承载输送作用

碳化硅悬臂浆碳化硅陶瓷悬臂浆山东尚美示例图1

悬臂浆性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载力大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，极大地延长了维护清洗的周期，并大幅减少污染物，应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的（扩散）涂层过程中，对硅片在高温环境中（1000---1300℃）的承载输送作用。

碳化硅悬臂浆碳化硅陶瓷悬臂浆山东尚美示例图2

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加工定制是

品牌山东尚美

型号根据客户需求定制

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额定温度 1380

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