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冷媒四氟化碳CF4

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上海

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冷媒(四氟化碳CF4


物理化学性质
四氟化碳(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ),亦称 ,全氟化碳,PFC-14( )。分子式:CF4。相对分子量:88.00。在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74MPa,蒸气压(-150.7℃)13.33kPa,介电常数(25℃,0.5MPa)1.0006。挥发性较高,是 稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1MPa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时, 会分解产生有毒氟化物,危险性类别为第2.2类不燃气体。

用途
四氟化碳( )是目前微电子工业中用量 的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

包装运输
四氟化碳( )对金属、合金不腐蚀,可用无缝钢瓶和铝合金容器装运,充瓶压力通常低于12.5MPa,按压缩气体运输,钢瓶每五年检验一次,国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输,国内目前无规定。

钢瓶包装:7kg/瓶,35kg/瓶。


加工定制
工作方式 一次冷媒
物质属性 自然冷媒
品牌 中化
材质
产地 上海
型号
化学成份 四氟化碳
容量 7KG/瓶
保质期 5年
主要适用范围 硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜

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冷媒四氟化碳CF4

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