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奥超5600 超声波硅片清洗设备 硅片超声波清洗机 厂家直销

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¥ 2300.00

1台起订

产品规格

规格: JA-3000 JA-4000 JA-5000 JA-6000 JA-9000

济宁奥超电子设备有限公司

7年

经营年限

山东济宁

所在地区

10.0

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产品属性

硅片晶圆生产清洗工艺中,使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合

1、炉前清洗:扩散前清洗。

2、光刻后清洗:除去光刻胶。

3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。

4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。

5、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。

6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。

7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。

8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。

9、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。

10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物

济宁奥超 硅片超声波清洗设备 硅片清洗机厂家定制





型号 JA-1000
品牌 奥超
加工定制
类型 全自动
适用领域 工业领域
用途 工业用
槽数 1
超声清洗频率 25
清洗温度 40
工作方式 全自动
外形尺寸 定制
功率 4000W
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奥超5600 超声波硅片清洗设备 硅片超声波清洗机 厂家直销

¥ 2300.00

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价格/数量
JA-3000

¥ 2300.00

300台可售

JA-4000

¥ 2300.00

200台可售

JA-9000

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JA-5000

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