X轴

Y轴

Z轴

363-110-10Y

QV-L404Z1L-D

400 mm

400 mm

200 mm

彩色

白色LED

测量范围

X轴

400 mm

Y轴

400 mm

Z轴

200 mm

外观尺寸

1303×776×1004 mm（不含专用设置台）

玻璃台尺寸(WxD)

466x480 mm

质量

275 kg（不含设置台重量及附件）

性能

视像测量精度

E₁XY轴

（2＋3L/1000）μm

E₁Z轴

（3＋5L/1000）μm

E₂XY平面

（2.5＋4L/1000）μm

精度保证条件

1.5x物镜/总光学倍率 5.25x

最小表示量

0.1 μm

光栅尺CTE[/K]

(10±1)x10^-6

精度保障温度

20±1 ℃

移动保证温度

10~35 ℃

精度保证负载

低于20kg（极端的不平衡负载，集中负载是不可以的）

各轴驱动速度

200 mm/s

最大工件重量

20kg（极端的不平衡负载，集中负载是不可以的）

结构

导向方式

直动式硬轴承

驱动方式

DC伺服电机＋滚珠丝杠

（速度･位 置反馈方式）

基本结构

固定桥式，Y轴移动结构

空气噪声级

A计权声压级

少于70dB(A)

主要装置和功能

照明装置

垂直落射照明

白色   LED

透過照明

白色   LED

环形照明

白色   4区域LED

观察装置

Zoom 镜头8级（变倍比：7）

视像检出方式

CMOS 彩色CCD照相机

温度补偿

无

供电电压

AC100～200V^+10%~-5%    50/60Hz

接地

必须有接地保护。接地阻抗≤100Ω

主体功率

170W

总功率（含电脑，显示器，打印机）

1810W（参考值）

温度変化

2 ℃/8H

温度梯度

1 ℃/m（高度･水平方向）

振动条件

振动频率10Hz以下

最大振幅≦2μm

振动频率超过10Hz

最大加速度≦0.004 m/s²

推荐的湿度条件

55-65 %RH