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很多潜在的工艺问题均与布局有关。化学机械平面化(ChemicalMechanicalPlanarization,CMP)中的凹陷和浸蚀、金属版印刷的光学近似效应(OpticalProximityEffects)、蚀刻负载(EtchLoading)以及许多其他的工艺特性都随着特征密度(FeatureDensity)而改变。过程工艺(ViaProcess)取决于主要层的特性,以及其本身的布局堆栈式(stacked)或非堆栈式(unstacked)。

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不锈钢圆板 壹钢 304不锈钢圆板圆饼
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