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针对电子行业,亚微米工艺对生产场所空气洁净度要求特别的高。集成电路光刻工艺的尺寸是推动洁净室要求的决定性因素,当然技术越进步,尺寸就越小,如果落在集成电路上的粒子大于小尺寸的1%-2%,集成电路就废了,金属粒子,离子,细菌都是生产废品的元凶。
目前电子无尘车间净化工程采用的空气净化装置主要包括回风管、送风管、空调和空气净化器,回风管的出风端与空气净化器的进风端连接,空气净化器的出风端与空调的进风端连接,空调的出风端与送风的进风端连接,外界的空气经过空气净化器净化后再通过空调制冷,然后通过送风管出入无尘车间内。由于回风管只通过一个回风口回风,使得无尘车间内的各个角落的空气净化不均匀,导致整个电子无尘车间内空气清洁度达不到万级要求。目前,万级电子无尘车间净化工程施工过程采用了一种新的空气净化装置。回风管设置有多条回风支管,每条回风支管的进风端均设置有进风盒,使得电子无尘车间内的各个角落的空气净化均匀,有效的克服现有技术的不足。使整个电子无尘车间的空气清洁度达到万级要求。
那么针对电子工程系统的净化原理是什么呢
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→ 净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
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13631307695
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020-31056594
禄米 无尘车间 洁净室工程 净化车间安装 LM-JHGC4664
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