MT-30ASERIES  

概要：

MT-30A系列质量流量计/控制器由质量流量传感器，

分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部

件组成。

本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细

管壁温度分布的热传导分布效应尔制成

采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流

量，可以不受温度压力的影响，将传感器测得得流

量信号进行放大，然后与设定的电压值进行比较，

用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制

流过通道的流量使之与设定的流量相等。

●标准

本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准

SJ/T10583-94 以及SJ37 所规定的通用技术条      产品尺寸127×28×100mm

件和命名方法。

质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。      型号选型

质量流量的单位规定为：SCCM(标准毫升/分)

 SLM(标准升/分)

标准状态规定为：温度--273.15K( 0℃ )

气压--101325pa(760mm Hg)  F.S(Full Scale):满量程值

特点：

MT-30A系列可应用在5SCCM-30SLM的气体流量范围

并且不会受到温度及压力变化的影响，应用范围广

●模拟式质量流量计/控制器

·低单价 ·环境温度补正 ·可应用流量范围广   

·0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

·0-1, 2 , 3 , 5 , 10, 20 , 30SLM

●高精度

·±1%F.S（≤15SLM） ·±2%F.S（＞15SLM）

●小体积

●可选用MT-1A流量显示仪或MT-1B流量积算仪配

套使用。

●输入，输出，供电

·输入设定电压…………0～+5.00V

·输出电压检测…………0～+5.00V

●基本参数

●尺寸定义图