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碳化硅悬臂桨碳化硅悬臂梁碳化硅舟桨山东尚美厂家定制

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¥2000.00

50-149件

¥1980.00

≥150件

产品规格

可售数量： 20件

山东尚美新材料科技有限公司

采通通 8 年实名企业

9年

经营年限

山东潍坊

所在地区

10.0

综合评分

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产品属性

碳化硅桨应用于在太阳能行业或电子行业中，在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的（扩散）涂层过程中，对硅片在高温环境中（1000---1300℃）的承载输送作用。

碳化硅桨和反应烧结碳化硅及其各类制品的企业，产品已经通过ISO9001体系的认证，生产所需原料全部进口，生产工艺全部采用德国FCT公司先进的工艺技术软件。

反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨
产品概要：悬臂桨，是半导体晶圆装载系统的关键部件。KCE?系列反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨性能稳定，在高温环境不变形，晶圆装载量大，适用于机器人自动装载和搬运系统，且其截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。加之与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，可极大地延长维护清洗周期，并大幅减少污染物。
反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨

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