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产品规格
可售数量： 22台
质量流量控制器/流量计（氮气）/热式质量流量计型号:D07-7C库号：M404976
D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以测量气体的质量流量。D07-7产品是基础款产品，能满足大多数客户流量测控基本需求。
流量量程0~5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品 ±1.5％F.S.
重复 ±0.2%FS
线性 ±1％F.S.
响应时间 ≤10sec气特性≤4sec
工作温度范围 (5~45)°C
耐压 3MPa
输入输出信号 (0~+5)VDC
电源 ±15V
阀类型 常闭
温度系数
零点飘移指标 -无-
电气连接 Dsub15pinsFemale
工作压差范围 (0.1～0.5)MPa
漏率 1×10-8atm•cc/secHe（1×10-9Pa•m3/secHe）
标准接头形式 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分 -无-
表面粗糙度 -无-
抗电磁干扰 CE
重量1.1kg
质量流量控制器/流量计（氮气）/热式质量流量计型号:D07-7C库号：M404976
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