ESC静电卡盘静电吸盘 E-Chuck_半导体材料

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ESC静电卡盘静电吸盘 E-Chuck

¥ 10000.00

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产品规格

可售数量： 1000000个

中山市思考电子科技有限公司

11年

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广东中山

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产品属性

ESC静电卡盘

静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在保证输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在保证输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。

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