近年来很多地区陆续建立了大规模的臭氧深度处理污水处理厂，将污水用臭氧深度处理后作为中水使用。臭氧发生器常用的气源大体可分为下列几种：
  1）干燥空气气源--无油的压缩空气经过冷却、干燥、过滤处理后作为原料气使用；
  2）富氧气源--无油压缩空气经过冷干处理送入PSA空分系统将氮气和氧气分离，并将氧气收集作为原料气（此原料气含有惰性气体和二氧化tan量氮气，并非纯氧气所以称为富氧源）；
  3）工业氧气源--通常使用瓶装工业氧气（大多适用于小型臭氧发生器）；
  4）液氧--液态氧经过汽化器汽化减压后送入臭氧发生器作为原料气（常用于大型臭氧发生器）

臭氧发生器结构组成：
　　1、臭氧发生系统由气源处理系统、臭氧放电室、冷却水系统、臭氧中频高压电源以及控制系统组成
　　2、发生器产量可根据用户实际需要进行调整，并具有多重保护功能，防止意外情况下，对发生器造成损坏。
　　3、臭氧发生器采用水冷却，通过满足质量要求的足量的冷却水有效地带走电晕放电时放出的热量，冷却水可循环使用并通过外部工艺降温。
　　4、电源部分由放电时能调整频率的变频控制器和放电时产生所需高电压的升压变压器等构成。瑞邦环保设计的变频器通过改变频率数、电流等来控制放电电力，可以在百分之5～100的范围内调整臭氧产生量。电源采用使用高速整流素子的PWM(脉宽调制)和使用IGBT的整流模块，控制高频率产生的同时，确保电源的效率维持在1附近。
　　5、臭氧放电室是安装臭氧发生单元的装置。臭氧发生单元是组成产生臭氧的基本元件，包括电和介质管。电是与具有不同电导率的媒质形成导电交接面的导电部分，在臭氧发生单元中系指分布高压电场的导电体;介质管是基本电磁场性能受电场作用而化的物质所构成的零、部件，在臭氧发生单元中系指位于两电间，造成稳定的辉光放电的绝缘体。