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¥12.00万
1-4台
¥10.00万
≥5台
产品规格
可售数量： 6台
日本原装光驰带射频源光学镀膜机 进口光学电镀机 日本原装真空镀膜机含冷水机，变压器130KVA，一套镀膜伞架，日本电子180度，
24穴+环形坩埚，美国POILCOLD1102,17寸RF射频源，2401机械泵，光控+6点晶控（XYC--3)
真空室SUS304,φ1300mm×1920mm (H)
工件架 φ1600mm
工件架转速10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚计XTC/3+6点式石英晶体传感器
离子源23cmRF离子源
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
达到压力7.0×10-5 Pa以下
排气时间20分（大气压～1.3×10-3 Pa)
基板温度 ：350℃
特点：
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
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13580817490
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0769-23106300
日本原装光驰带射频源光学镀膜机 进口光学电镀机 日本原装真空镀膜机
¥ 10.00万 ~ ¥ 12.00万
¥10.00万
6台可售
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