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热式质量流量计型号:D07-11C 库号：D322100

¥6280.00

1-2台

¥5880.00

≥3台

产品规格

可售数量： 50台

廊坊众仪科技有限公司

采通通 1 年资质认证实名企业

2年

经营年限

河北省廊坊市大厂回族自治县城区现代商城2单元412

所在地区

3.5

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图文详情

产品属性

热式质量流量计 型号:D07-11C

库号：D322100

D07-11C是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以测量气体的质量流量。D07-11产品高耐压10MPa。

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、和真空等多种领域的科研和中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用

特点

　　• 高耐压性

　　• 橡胶密封、模拟电路的MFC

　　• 采用DB15型电插头，标准机械接头

　　• CE，兼容

参数

类型：D07-11C

流量规格：( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度：±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

线性：±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

重复精度：±0.2 %F.S

响应时间：电特性:10sec 气特性:≤4sec