电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数，为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况，需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种，其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及对样品形状无严格要求的特点。因此，目前检测半导体材料电阻率，尤其对于薄膜样品来说，四探针是较常用的方法，S型源表搭建四探针法测量半导体电阻率实验详询一八一四零六六三四七六

四探针测试原理

四探针技术要求使用四根探针等间距的接触到材料表面。在外边两根探针之间输出电流的同时，测试中间两根探针的电压差。 后，电阻率通过样品的几何参数，输出电流源和测到的电压值来计算得出。

普赛斯仪表S型源表能四线法测电阻吗？对线缆要求？
①可以的，使用其四线测量模式；
②四探针测试时一般是恒流测电压，而所加的电流一般在mA级，所以对线缆基本没有要求

需要测试的参数：
表面电阻率

需要仪器列表：
S型国产源表

探针台或夹具

可编程温箱

软件

高校相关专业
材料专业

化学专业

武汉普赛斯仪表自主研发的高精度源表（SMU），可以在输出电流时测试电压，也可以在输出电压时测试电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控，测量电压分辨率  高达微伏级。支持四线开尔文模式，适用于四探针测试，可以简化测试连接，得到准确的测试结果。

上位机软件指导电阻率测试步骤，测试方法清晰明确，即使不熟练的工程师也能迅速掌握测试方法。     内置电阻率计算公式，测试结束后直接从电脑端读取计算结果，方便灵活的做后续处理分析系统主要由源测量单元、探针台和上位机软件组成。四探针可以通过前面板香蕉头或者后面板三同轴接口连接到源表上。

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