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二手28B双面高精密度抛光机 平面研磨机8成新日本创技品牌

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1台起订

产品规格

可售数量: 3台

16年

经营年限

广东东莞

所在地区

8.1

综合评分

图文详情
产品属性

设备简介:

  本机主要用于硅片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光,也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。

 

安装条件

 

序号

项目

指标要求

1

环境

室内地面平坦、无振动源、无灰尘烟雾污染

2

水源

纯水或自来水

3

电源

约70kW  AC380V  50Hz(总功率)

4

气源

压缩空气源 0.6Mpa,接口φ16mm(外径)

5

温度

10℃-25℃

6

相对湿度

≤95%

7

外形尺寸(长x宽x高)

3700x3000x4100mm(含地脚高度及电器柜尺寸)

8

主机重量

28000Kg

9

主机颜色

BH白或订制

 

 

三、主要特点

 

序号

项目

特点

1

压力控制

运动控制器+压力传感器+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力控制,上盘 使用压力1200Kg,精度可达2%

2

上盘调心

采用万向节结构,调心灵活,承载力高

3

上盘防落装置

双重机械锁定,安全性更高

4

高精度速度控制

自编程实现低速平稳、启停同步运转控制,内外齿圈采用伺服控制,速度控制更精准

5

精密传动系统

高精度小齿隙全齿轮传动

6

下盘支撑

高精度流体轴承支撑

7

免维护设计

齿轮采用自动集中润滑装置,关键器件采用进口知名品牌,轴承留有润滑接口

8

强制散热系统

轴流风机排热方式,并预留抽风接口,用户可自行连接

9

清洗便捷

低台面、半裸式接液盆

10

同步升降

齿圈太阳轮同步升降,采用伺服电机拖动,可自动或手动调节高度,延长使用寿命

11

游轮精确定位

齿圈太阳轮采用伺服电机拖动,可实现游轮的精确定位

12

水液分离装置

水液切换程序控制,自动分离,操作便捷,清洗水可自动排放

13

整机减振

防振式结构设计安装,设备更稳定

14

防护设计

齿圈、太阳轮采用不锈钢制作,接液盆,托盘、抛盘等接触到工作液的地方均喷涂特氟龙

15

供液系统

桶体设有排污口,具备温度、液位监测,具有加热和冷却功能,具有液泵和搅拌泵,出口设有过滤器,管路设有流量监测,能在线实时检测流量

16

自动测厚

设备装有机械测厚系统,能在线实时检测工件加工厚度

17

分级管理

密码分级管理,不同人员具有不同的操作权限

18

工艺适用性

程序控制

可储存多套工艺参数,每套工艺可达20步,工艺参数设置包括(压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等)

 

速比搭配

四电机独立同步拖动,上下盘、内齿、外齿(即可正转,也可反转)转速可任意设定,具有配方功能


类型 磨床
型号 28B-5P
新旧程度 8成新
传动方式 机械传动
主电机功率 15
磨削尺寸 630
自动化程度 自动
品牌 创技
重量 8000
外形尺寸 1600*1900*3000
加工精度 0.001
工作台尺寸 1900*760
设备所在地 东莞茶山
设备生产产地 日本

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二手28B双面高精密度抛光机 平面研磨机8成新日本创技品牌

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