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二手OTFC-1550真空电镀膜机日本光弛9成新

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可售数量: 2台

16年

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广东东莞

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8.1

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工厂转让一台日本原装OTFC-1550真空电镀膜机使用范围:介质膜及金属膜光学元件镀膜

OTFC- 1550光驰机(年份:2015. 11

真空室:SUS304,Ф1550*1800MM

工件架Ф1400

工件架转速10rpm to 30rpm (可变)

光学膜厚控制HOM2- -R -VIS350A

光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式/透射式

水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源:2日本电子16P

离子源:23 寸光驰RF离子源

 

排气系统:机械泵2个,扩散泵Polycold (2个冷凝泵)275机械泵+爱德华配套罗茨泵

 

 

性能

 

达到压力7. 0X10-5Pa以下

排气时间:20(大气压~1. 3X 10-3Pa)

基板温度:高: 350C

 

工作条件

 

设备尺寸:药500m00) x 7200m(D)X53700mm

电源:3, 200v, 50/ 60Hz,120KVA

水流量:180/分以上

空气压力:0.5MPa以上

重量:约11000kg


型号 OTFC-1550
新旧程度 9成新
设备所在地 东莞茶山
设备生产产地 日本
产品数量 1

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