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产品规格
可售数量: 520台
光电位置传感器型号:DR777-52*52库号:M64398
光电位置传感器
(PSD)
PSD光电位置探测器
PSD(Position Sensitive Detectors)是一种能测量光点在探测器表面上连续位置的光学探测器。PSD由P衬底、PIN光电二极管及表面电阻组成。与CCD探测器相比,PSD有诸多优点,如位置分辨率高,响应速度快和处理电路简单等。另外,位置信号与落在探测器上的光斑形状无关。
我所可提供各种精度和规格尺寸的PSD探测器。
特点
●位置分辨率高
●光谱响应宽
●响应速度快
●位置和光强同时测量
●不受光斑的约束
●性高
应用范围
●光学位置和角度的探测
●光学遥测系统
●位移和振动测量
●激光对中和准直
●距离测试
●人类运动姿态分析
工作原理与PSD特点
1结构
如图1截面图所示,PSD由在平面硅衬底上的三层组成:P型层在表面,N型层在另一面,I层在它们中间。落在PSD上的入射光转换成光电子后由P型层上两端电极探测并形成光电流。
图1
2原理
当一束光落在PSD上,相应于光能量的电荷在入射点产生,电荷通过P型电阻层被电极收集。P型层是均匀一体的电阻层,被电极收集到的光电流与入射点和电极间距成反比。
由此可得出如下公式:I1和I2是电极的光电流,
L和I0分别代表电极间距和总光电流。
图2
当PSD几何设定为坐标原点:
I1(12 x)I
----------(1)
I1(12 x
)I(2)
1 2 L A 0 2 2 L A 0
I 2I12x A
----------(3)
I1L2x A
----------(4)
I1I 2 L I 2 L2x A
当PSD一端设定为坐标原点:
ILx B I
1 L 0
----------(5)
Ix B I
2 L 0
-----------(6)
I 2I12x BL
----------(7)
I1L2x B
----------(8)
I1I 2 L I 2 x B
由公式(3),(4),(7),(8)显示,不同的比率可得出相应的与光能量无关的入射光点的位置。
3一维PSD
PSD分两种类型:一维PSD(称1D-PSD)和两维PSD(称2D-PSD)探测器,图3a是
1D-PSD的结构图。
a b
图3
图3b是1D-PSD的等效电路图。由于有寄生Cj和Rp,它们的时间常数决定了PSD的响应速度。通过集成电路处理,1D-PSD可用于探测100ps脉冲宽度的激光光斑。
42D-PSD
2D-PSD是一种改进型四侧面结构,包括改进敏感面和电极。另外,器件暗电流小,响应速度高和设置偏压容易,边缘畸变小。
图5
5转换公式
PSD光敏面上光点位置可由如下公式得出:这里X1和X2代表每一电极输出信号(光电
流),x是光点位置坐标。
X 2X 12x
X 1X 2 L
图6
(X 2Y1)(X 1Y2)2x
X 1X 2Y1Y2 L
(X 2Y2)(X 1Y1)2 y
图7
6电路
图8是1D-PSD直流处理电路原理图。Vr是偏置电压。
X 1X 2Y1Y2 L
7PSD处理电路
我所可提供1D-PSD和2D-PSD信号处理电路。1D-PSD,2D-PSD分别是1D-PSD和2D-PSD非调制信号处理板。只要简单地把处理板连接电源,位置信号就能得到。
本所研制开发了调制信号处理电路,数据可以液晶显示,可以通过RS232口与计算机通讯。
本所还具有PSD应用整机开发的实力。
PSD探测器
●W101(1D-PSD)
光敏面1×3mm
分辨率0.1μm
光谱响应范围380~1100nm
响应时间0.5μs
工作温度-10~60℃
●W103(1D-PSD)
光敏面1×15mm
分辨率0.1μm
●W104(1D-PSD)
光敏面2.0×20mm
分辨率1μm
光谱响应范围380~1100nm
响应时间1μs
工作温度-10~60℃
●W105(1D-PSD)
光敏面2.5×34mm
分辨率1μm
光谱响应范围380~1100nm
响应时间5μs
工作温度-10~60℃
●W201(2D-PSD)
光敏面10×10mm
分辨率1μm
光谱响应范围380~1100nm
响应时间0.8μs
工作温度-10~60℃
●W202(2D-PSD)
光敏面15×15mm
分辨率1μm
光谱响应范围380~1100nm
响应时间0.8μs
工作温度-10~60℃
●W203(2D-PSD)
光敏面21×21mm
分辨率2μm
光谱响应范围380~1100nm
响应时间1μs
工作温度-10~60℃
●W204(2D-PSD)
光敏面27×27mm
分辨率2μm
●W205(2D-PSD)
光敏面43×43mm
分辨率5μm
光谱响应范围380~1100nm
响应时间5μs
工作温度-10~60℃
辅助产品
●PSD精度标定系统
W203(2D-PSD)技术参数
光电参数符号测试条件典型值单位
光敏面面积φ25×25 mm
光谱相应λ320~1100 nm
光谱峰值相应λVr=5V,920 nm
灵敏度Re Vr=5V,
λ=920nm 0.5 A/W
位置分辨率Pr 1.5μm
位置检测误差E A区:±80,B区:±150μm
暗电流Id Vr=5V,100 nA
工作电压VR 5 V
工作温度T-10~50℃
光电位置传感器型号:DR777-52*52库号:M64398
¥ 8500.00
¥8500.00
520台可售
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