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光电位置传感器型号:DR777-52*52库号:M64398

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北京中西华大科技有限公司

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光电位置传感器型号:DR777-52*52库号:M64398

光电位置传感器

(PSD)

PSD光电位置探测器

PSD(Position Sensitive Detectors)是一种能测量光点在探测器表面上连续位置的光学探测器。PSD由P衬底、PIN光电二极管及表面电阻组成。与CCD探测器相比,PSD有诸多优点,如位置分辨率高,响应速度快和处理电路简单等。另外,位置信号与落在探测器上的光斑形状无关。

我所可提供各种精度和规格尺寸的PSD探测器。

特点

●位置分辨率高

●光谱响应宽

●响应速度快

●位置和光强同时测量

●不受光斑的约束

●性高

应用范围

●光学位置和角度的探测

●光学遥测系统

●位移和振动测量

●激光对中和准直

●距离测试

●人类运动姿态分析

工作原理与PSD特点

1结构

如图1截面图所示,PSD由在平面硅衬底上的三层组成:P型层在表面,N型层在另一面,I层在它们中间。落在PSD上的入射光转换成光电子后由P型层上两端电极探测并形成光电流。

图1

2原理

当一束光落在PSD上,相应于光能量的电荷在入射点产生,电荷通过P型电阻层被电极收集。P型层是均匀一体的电阻层,被电极收集到的光电流与入射点和电极间距成反比。

由此可得出如下公式:I1和I2是电极的光电流,

L和I0分别代表电极间距和总光电流。

图2

当PSD几何设定为坐标原点:

I1(12 x)I

----------(1)

I1(12 x

)I(2)

1 2 L A 0 2 2 L A 0

I 2I12x A

----------(3)

I1L2x A

----------(4)

I1I 2 L I 2 L2x A

当PSD一端设定为坐标原点:

ILx B I

1 L 0

----------(5)

Ix B I

2 L 0

-----------(6)

I 2I12x BL

----------(7)

I1L2x B

----------(8)

I1I 2 L I 2 x B

由公式(3),(4),(7),(8)显示,不同的比率可得出相应的与光能量无关的入射光点的位置。

3一维PSD

PSD分两种类型:一维PSD(称1D-PSD)和两维PSD(称2D-PSD)探测器,图3a是

1D-PSD的结构图。

a b

图3

图3b是1D-PSD的等效电路图。由于有寄生Cj和Rp,它们的时间常数决定了PSD的响应速度。通过集成电路处理,1D-PSD可用于探测100ps脉冲宽度的激光光斑。

42D-PSD

2D-PSD是一种改进型四侧面结构,包括改进敏感面和电极。另外,器件暗电流小,响应速度高和设置偏压容易,边缘畸变小。

图5

5转换公式

PSD光敏面上光点位置可由如下公式得出:这里X1和X2代表每一电极输出信号(光电

流),x是光点位置坐标。

X 2X 12x

X 1X 2 L

图6

(X 2Y1)(X 1Y2)2x

X 1X 2Y1Y2 L

(X 2Y2)(X 1Y1)2 y

图7

6电路

图8是1D-PSD直流处理电路原理图。Vr是偏置电压。

X 1X 2Y1Y2 L

7PSD处理电路

我所可提供1D-PSD和2D-PSD信号处理电路。1D-PSD,2D-PSD分别是1D-PSD和2D-PSD非调制信号处理板。只要简单地把处理板连接电源,位置信号就能得到。

本所研制开发了调制信号处理电路,数据可以液晶显示,可以通过RS232口与计算机通讯。

本所还具有PSD应用整机开发的实力。

PSD探测器

●W101(1D-PSD)

光敏面1×3mm

分辨率0.1μm

光谱响应范围380~1100nm

响应时间0.5μs

工作温度-10~60℃

●W103(1D-PSD)

光敏面1×15mm

分辨率0.1μm

●W104(1D-PSD)

光敏面2.0×20mm

分辨率1μm

光谱响应范围380~1100nm

响应时间1μs

工作温度-10~60℃

●W105(1D-PSD)

光敏面2.5×34mm

分辨率1μm

光谱响应范围380~1100nm

响应时间5μs

工作温度-10~60℃

●W201(2D-PSD)

光敏面10×10mm

分辨率1μm

光谱响应范围380~1100nm

响应时间0.8μs

工作温度-10~60℃

●W202(2D-PSD)

光敏面15×15mm

分辨率1μm

光谱响应范围380~1100nm

响应时间0.8μs

工作温度-10~60℃

●W203(2D-PSD)

光敏面21×21mm

分辨率2μm

光谱响应范围380~1100nm

响应时间1μs

工作温度-10~60℃

●W204(2D-PSD)

光敏面27×27mm

分辨率2μm

●W205(2D-PSD)

光敏面43×43mm

分辨率5μm

光谱响应范围380~1100nm

响应时间5μs

工作温度-10~60℃

辅助产品

●PSD精度标定系统

W203(2D-PSD)技术参数

光电参数符号测试条件典型值单位

光敏面面积φ25×25 mm

光谱相应λ320~1100 nm

光谱峰值相应λVr=5V,920 nm

灵敏度Re Vr=5V,

λ=920nm 0.5 A/W

位置分辨率Pr 1.5μm

位置检测误差E A区:±80,B区:±150μm

暗电流Id Vr=5V,100 nA

工作电压VR 5 V

工作温度T-10~50℃



加工定制
类型 光电位置传感器
品牌 M64398
型号 DR777-52*52
重量 0

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