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产品规格
可售数量: 100台
激光干涉仪精度测量,如回转轴精度测量,需要转台附件(XR20-W)配合使用,此外还需要使用角度干涉镜。如果使用的是有线转台附件(RX10),则还需要使用角度反射镜。
中图仪器研发生产的SJ6000激光干涉仪测量分辨率可达0.01″,系统测量精度为±1″,基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。
全套系统
SJ6000激光干涉仪是一个交流测试系统,当激光光束强度受环境影响发生变化时,其频率不会受光强变化影响发生变化,也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此,它的干扰能力强,精度高,测量结果可靠,在精度要求极高的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。
技术指标
应用示例
以往中国市场的激光干涉仪都是国外的品牌占据大部分市场份额,因为价格昂贵,让很多国内企业望而却步。中图仪器一直以实现高精密仪器自主化为己任,以”改变精密仪器依赖进口的局面,为中国制造的产业升级提供高端装备“为使命,在几何量测量领域潜心研究了十几年,推出激光干涉仪精度的、在测量精度、测量速度、测量类型等方面选择上,给用户提供了更多选择。
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18928463988
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0755-83318988
中图仪器激光干涉仪精度
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