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中图仪器激光干涉仪精度

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可售数量: 100台

深圳市中图仪器股份有限公司

20年

经营年限

广东深圳

所在地区

10.0

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产品属性

激光干涉仪精度测量,如回转轴精度测量,需要转台附件(XR20-W)配合使用,此外还需要使用角度干涉镜。如果使用的是有线转台附件(RX10),则还需要使用角度反射镜。


中图仪器研发生产的SJ6000激光干涉仪测量分辨率可达0.01″,系统测量精度为±1″,基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。


全套系统







SJ6000激光干涉仪是一个交流测试系统,当激光光束强度受环境影响发生变化时,其频率不会受光强变化影响发生变化,也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此,它的干扰能力强,精度高,测量结果可靠,在精度要求极高的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。


技术指标


应用示例


以往中国市场的激光干涉仪都是国外的品牌占据大部分市场份额,因为价格昂贵,让很多国内企业望而却步。中图仪器一直以实现高精密仪器自主化为己任,以”改变精密仪器依赖进口的局面,为中国制造的产业升级提供高端装备“为使命,在几何量测量领域潜心研究了十几年,推出激光干涉仪精度的、在测量精度、测量速度、测量类型等方面选择上,给用户提供了更多选择。

加工定制
类型 接触式干涉仪
品牌 中图仪器
型号 SJ6000
测量分辨率 1nm
用途 诊断校准导轨运动精度
测量距离 (0-80)m
测量精度 0.5ppm(0-40)℃
测量分辨力 1nm
稳频精度 0.05ppm
动态采集频率 50kHz

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