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产品规格
可售数量： 1台
美国原装ZYGO 4寸干涉仪，可测平面和球面
型号：MARK GPI ,软件是9.0版本的，系统WIN7的，国外企业测样品用，保养特别好
测量功能：精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
测量技术：机械相移干涉测量（PSI）
校准系统 ：快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
测量光束直径 ：4″（102mm）或6″（152mm）
对准视场范围FOV ：4″：±3°；6″：±2°；
光学中心线 ：4.25″（108mm）
激光光源：大功率稳频氦-氖激光，IIIa 级
波长： 633 nm
频率稳定度： < 0.0001 nm
相干长度 ：＞100m
成像分辨率 ：1000 x 1000 像素
帧速 ：43Hz
数据采集时间 ：302ms
数据模式： 8位
放大 ：电控数显放大1-5X
偏振 ：接近圆偏振（1.2：1或者更好）
光曈调焦范围： 4″：±2.5m；6″：±5.5m；
计算机和软件 ：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO专利软件MetroproTM X和MetroproTM 9
安装构造 ：水平卧式或垂直立式
附件 ：详细参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463
尺寸(长x宽x高)： 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）
性能参数：
RMS重复性： < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
RMS波前重复性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
像素峰值偏差：< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)
工作环境：
温度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)
温度变化率： ＜1.0°C/15min
湿度:相对湿度5% - 95% , 无凝结
隔振:机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。
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13723521401
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0769-23105805
美国原装ZYGO 4寸干涉仪，可测平面和球面型号：MARK GPI ,软件是9.0版本的，系统WIN7的
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