美国原装ZYGO 4寸干涉仪，可测平面和球面

 型号：MARK GPI ,软件是9.0版本的，系统WIN7的，国外企业测样品用，保养特别好

测量功能：精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前

测量技术：机械相移干涉测量（PSI）

校准系统 ：快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

测量光束直径 ：4″（102mm）或6″（152mm）

对准视场范围FOV ：4″：±3°；6″：±2°；

光学中心线 ：4.25″（108mm）

激光光源：大功率稳频氦-氖激光，IIIa 级

波长： 633 nm

频率稳定度： < 0.0001 nm

相干长度 ：＞100m

成像分辨率 ：1000 x 1000 像素

帧速 ：43Hz

数据采集时间 ：302ms

数据模式： 8位

放大 ：电控数显放大1-5X

偏振 ：接近圆偏振（1.2：1或者更好）

光曈调焦范围： 4″：±2.5m；6″：±5.5m；

计算机和软件 ：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO专利软件MetroproTM X和MetroproTM 9

安装构造 ：水平卧式或垂直立式

附件 ：详细参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463

尺寸(长x宽x高)： 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）

性能参数：

RMS重复性： < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

RMS波前重复性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)

像素峰值偏差：< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

工作环境：

温度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)

温度变化率： ＜1.0°C/15min

湿度:相对湿度5% - 95% , 无凝结

隔振:机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。