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产品规格
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高真空磁控溅射仪可喷镁，铝，金银铂 型号:KM1-SD-650MH库号：M403191
参数：
仪器主机尺寸: 长 610mm×宽 420mm×高 220mm注：含腔体总高 490mm
工作腔室尺寸： 标配：玻璃腔体高度可选：直径 260mm×高 200mm外尺寸
直径 240mm×高 200mm内尺寸
选配：腔体：直径 260mm×高 270mm外尺寸
直径 210mm×高 270mm内尺寸
靶头： 标配：单靶
选配：双靶双靶仪器主机尺寸和工作腔体尺寸会随之
靶材尺寸： 直径 50mm×厚 3mm因靶材材不同厚度有所不同
靶材料： 标配一块直径 50mm×3mm 的铜靶可选配多种靶材
靶冷却方式： 水冷
真空系统： 抗冲击涡轮分子泵，抽速为 300L/s
前机械泵： 抽速为 4L/s，带防返油电磁阀及油污过滤器
真空测量： 采用复合真空计监测真空
限真空度: 5×10
-5Pa10 分钟可到 9×10
-4Pa
电源： 标配：直流恒流电源：输入电压：220V
电压：0-600v
电流：0-1.6A
FF 比色皿 型号:TG21-2495402库号：M387722 中西
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¥9800.00
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17338152667
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173-38152667
F高真空磁控溅射仪 可喷镁，铝，金银铂 型号:KM1-SD-650MH库号：M403191
¥ 13.50万
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