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在电火花加工过程中,表面上生成厚度约10μm的重新淬火(非回火)的马氏体层,下面才是原始的回火层。重新淬火硬化层脆且有残余应力，存有显微裂纹。如果直接使用，在模具工作中，承载时能发展成一些严重的裂纹，往往引起早期开裂。
电火花加工模具重新回火应在稍低于热处理最高回火温度下进行。某厂采用450℃回火温度，也有企业采用低温退火(180℃~260℃)。其他预防措施包括:
(1)粗加工采用低频电火花加工，精加工采用高频电火花加工，可使重新加工淬火硬化层厚度减到最低。
(2)采用轻磨削或研磨。
据某厂统计,电火花加工的热锻模具经过回火，其寿命可提高30%以上。国内电火花加的精密冷锻模大多采用回火，以消除硬化层和残余应力。
山东模具材料—提高模具电花加工的模具应消除残余应力
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