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¥ 26800.00
1台起订
产品规格
可售数量： 888台
1． 产品名称：新微型高低温探针台
2． 产品型号：KT-Z4019MRL4T
3． 产品品牌：郑科探 Zhengketan
4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司
二：功能要求
KT-Z4019MRL4T测试腔体内部装有不锈钢加热或制冷承载台，台面为φ30，台面 高可升温到 高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用 别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号
三：主要技术要求
1． 腔体材质：304不锈钢 6061铝合金 可选
2． 腔体内尺寸：127mmX57mmX20mm
3． 腔体外尺寸：150mmX80mmX32mm
4． 腔体重量：不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG
5． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
6． 腔体抽气口：KF16法兰（其余接口规格可转接）
7． 腔体真空测量口：KF16法兰（其余接口规格可转接）
8． 腔体进气口：6mm快拧 或 6mm快插
9． 腔体冷却方式：腔体水冷+上盖气冷
10． 腔体水冷接口： 6mm快插
11． 允许正压：≤0.05MPa
12． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
13． 样品台材质：不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块
14． 样品台尺寸： 26x26mm
15． 样品台加热方式：电阻加热 液氮制冷
16． 样品台-视窗 距离：11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
17． 样品台测温传感器： PT100型热电阻
18． 样品台温度：室温到400℃ 室温到-196℃
19． 样品台测温误差：±0.5℃
20． 样品台升温速率：高温100℃/min 值 低温7℃/min
21． 温度显示： 7寸人机界面
22． 温控类型：标准PID温控 +自整定
23． 温度分辨率：0.1℃
24． 温控精度：±0.5℃
25． 温度信号输入类型：PT100 （可选K S B型热电偶）
26． 温控输出：直流线性电源加热+液氮流速控制器
27． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
28． 温控器尺寸：32cmX170cmX380cm
29． 温控器重量：约5.6KG
30． 电信号接头：配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
31． 电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
32． 探针数量：4探针（可扩展5探针）
33． 探针材质：镀金钨针 （其他材质可选）
34． 探针尖：10μm
35． X轴移动行程：20mm ±10mm（需手动推动滑台）
36． X轴控制精度：≥500μm
37． R轴移动行程：120° ±60°（需手动旋转探针杆）
38． R轴控制精度：≥500μm
39． Z轴移动行程：2mm ±1mm
40． Z轴控制精度：≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）
高校科研实验室半导体材料测试仪器 小微型真空高低温探针台 加热制冷探针台
¥ 26800.00
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888台可售
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