【科研真空晶圆测试探针台智能气体配比器成套套建环境检测与分析设备】价格_批发_厂家_参数_图片_实验室仪器

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科研真空晶圆测试探针台智能气体配比器成套套建环境检测与分析设备

¥ 98800.00

1件起订

产品规格

可售数量： 199件

郑州科创实验仪器设备有限公司

8年

经营年限

河南郑州

所在地区

7.5

综合评分

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图文详情

产品属性

探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面高可升温到高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测

真空腔体
腔体材质	304不锈钢
上盖开启	铰链侧开
加热台材质	304不锈钢
内腔体尺寸	φ160x90mm
观察窗尺寸	Φ70mm
加热台尺寸	φ60mm
观察窗热台间距	75mm
加热台温度	35-350℃
加热台温控误差	±1℃
真空度	机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允许正压	≤0.1MPa
真空抽气口	KF25真空法兰
气体进气口	3mm-6mm卡套接头
电信号接头	SMA转BNC X 4
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
探针数量	4探针
探针材质	钨针
探针尖	10μm
探针移动平台
X轴移动行程	30mm ±15mm
X轴控制精度	≤0.01mm
Y轴移动行程	13mm ±12.5mm
Y轴控制精度	≤0.01mm
Z轴移动行程	13mm ±12.5mm
Z轴控制精度	≤0.01mm
电子显微镜
显微镜类别	物镜
物镜倍数	0.7-4.5倍
工作间距	90mm
相机	sony 高清
像素	1920※1080像素
图像接口	VGA
LED可调光源	有
显示屏	8寸
放大倍数	19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm