测量行程

851S017、851S018

±5mm

设置

851S017、851S018

851S019、851S020

±2mm

851S019、851S020

1:2

851S021、851S022

±2mm

851S021、851S022

1:1

支撑方式

球轴承

测头旋转

全行程1°

温度范围

－10°C～65°C,使用/存放温度

安装位置

任意

主体直径

Φ8h6

电缆

聚亚安脂(PUR),长2m

插头

5线,270°

重复精度

0.02um

驱动频率

13kHz±5%

供电电压

3V±0.5％RMS

线圈型式

半桥式

维修

可修理,可拆单元

测头

Φ3mm硬质合金球,M2.5螺纹连接,可更换

灵敏度

851S017、851S018

标准设置1：10,7.38±0.02mV/(V?mm)(输入电阻R=2KΩ±0.1％)
可选设置1：5,14.76±0.04mV/(V?mm)(输入电阻R=2KΩ±0.1％)

851S019、851S020

36.88±0.15mV/(V?mm)(输入电阻R=2KΩ±0.1％)

851S021、851S022

73.75±0.15mV/(V?mm)(输入电阻R=2KΩ±0.1％)

线性误差

851S017、851S018

0.9％FS±5000um  范围(20°C±1°C)

851S019、851S020

0.5％FS±2000um  范围(20°C±1°C)

851S021、851S022

0.25％FS±1000um  范围(20°C±1°C)

预行程 / 默认设置

851S017/851S018

可调 / -5.5mm

可调 / -5.5mm

可调 / +5.5mm

可调 / +5.5mm

851S019/851S020

可调 / -2.5mm

可调 / -2.5mm

可调 / +8mm

可调 / +8mm

851S021/851S022

可调 / -2.5mm

可调 / -2.5mm

可调 / +8mm

可调 / +8mm

寿命

大于1000万次

大于1000万次

――

大于1000万次

防护套

FPM/FKM(氟橡胶)

FPM/FKM(氟橡胶)

FPM/FKM(氟橡胶)

――

提升 / 驱动

无

真空提升

气压驱动

气压驱动

压力

――

――

2.0bar

6.0bar

重复精度

0.01um

使用寿命

大于1000万次

测头旋转

全行程1°

测头

可安装

支撑方式

球轴承

供电电压

3V±0.5％RMS

温度范围

－10°C～65°C,使用/存放温度

安装位置

任意

外形尺寸

70×14×12mm

电缆

聚亚安脂(PUR),长2m

提升

可安装

测量力

1N±15% (零点位点),可选择1.6N

插头

5线,270°

维修

可修理,可拆单元

线性误差

0.25％FS±1000um  范围(20°C±1°C)

预行程 
默认设置

可调 
-1.2mm

灵敏度

73.75±0.15mV/(V?mm)
(输入电阻R=2KΩ±0.1％)

73.75±0.15mV/(V?mm)
(输入电阻R=2KΩ±0.1％)

150mV/(V?mm)
(输入电阻R=100KΩ)

150mV/(V?mm)
(输入电阻R=100KΩ)

驱动频率

13kHz±5%

13kHz±5%

5kHz±5%

5kHz±5%

线圈型式

半桥式

半桥式

全桥式(LVDT)

全桥式(LVDT)