洁净无尘烘箱技术要求半导体行业用烘箱需配备 H.E.P.A 过滤器（过滤精度 0.3μm，效率 99.995%），内部采用镜面不锈钢（Ra≤0.2μm）和垂直层流送风，颗粒计数（≥0.5μm）≤100 个 /m³，适用于晶圆片硬烤、LCD 玻璃预处理。

隧道式烘箱外观与结构​ 隧道式烘箱为长条形贯通结构，机身长度根据产能定制（通常 3-15 米），进料与出料端设密封隔离门。内部由输送履带、多段加热区、热风循环风道组成，外壳采用保温夹芯板，侧面设检修门与观察窗，底部安装万向轮便于移动调整，整体呈流线型设计以减少热能损耗。

电热鼓风烘箱工作原理​ 电热鼓风烘箱通过以下流程运行：1. 电热管通电发热，空气经加热后形成热风；2. 送风马达带动风轮将热风送入工作室；3. 热风流经物料后经风道回流，重新加热循环；4. 温控仪通过 Pt100 传感器监测温度，达到设定值后自动调节加热功率；5. 开门取放物料后，系统快速补热恢复温度。