产品规格
Sam层退火炉支持常见腔体尺寸与产能节拍定制，可根据晶圆或基片规格调整加热区长度与传送方式，单机或连线布置均可。

材质与工艺
炉体采用不锈钢内胆与保温层结构，加热元件与温控模块分腔布置，钣金加工、电控组装到整机测试由广东莱宝智能装备股份有限公司厂内完成，通过ISO9001、ISO14001与CE认证。

主要参数
温度区间按工艺需求设定，常见退火温区可分段控温，恒温区均匀性依型号确认；支持气氛保护、洁净等级与防爆要求按需配置，参数以技术方案为准。

详情与用途
Sam层退火炉适用于半导体、光伏、FPC及电子薄膜材料的退火、烘烤与应力释放工序，可对接上下游流水线。设备卖点：1. 分段温控与热工工艺匹配，温控曲线可按客户工况优化；2. 非标定制灵活，腔体尺寸、产能节拍、洁净等级可量身开发；3. 厂家提供单机与整线集成，调试培训及备件配套齐全。价格面议，来电询价。